[發明專利]一種半導體專用設備用晶片吸附搬運機構

有效

• 申請號: 201010181423.X
• 申請日: 2010-05-25
• 公開（公告）號: CN101866870A
• 公開（公告）日: 2010-10-20
• 發明（設計）人: 王欣;張文斌;袁立偉
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十五研究所
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 石家莊新世紀專利商標事務所有限公司 13100
• 代理人: 張杰

1.一種半導體專用設備用晶片吸附搬運機構，其特征在于：其包括升降緩沖吸附臺以及與升降緩沖吸附臺可調連接的擺臂(7)；

升降緩沖吸附臺包括裝配在一起的彈簧導桿(1)、固定板(6)、吸片臺(9)、小軸(2)、螺紋圓柱銷(3)、彈簧(4)、緊固螺釘(5)，其中所述彈簧導桿(1)與固定板(6)固定連接，小軸(2)穿過彈簧導桿(1)與固定板(6)上設有的通孔，小軸(2)的上端設有端帽(13)卡在彈簧導桿(1)上，小軸(2)的下端螺紋連接在吸片臺(9)上，彈簧(4)套在小軸(2)上，彈簧(4)上下兩端分別與于彈簧導桿(1)和吸片臺(9)連接，彈簧導桿(1)上貼著小軸(2)的端帽(13)固定有螺紋圓柱銷(3)，小軸(2)的端帽(13)上開設有滑槽可沿螺紋圓柱銷(3)光滑面滑動，小軸(2)中心開有氣道；吸片臺(9)下表面上均勻布設有方便吸附硅片的環形的凹槽，并設有將各環形凹槽溝通的兩條互垂直的徑向凹槽。

2.根據權利要求1所述的一種半導體專用設備用晶片吸附搬運機構，其特征在于：所述升降緩沖吸附臺與擺臂(7)的可調連接為：在固定板(6)上設置有槽孔，螺釘穿過槽孔將固定板(6)固定在擺臂(7)上，在擺臂(7)上固定有調整座(8)，調整座(8)的另一端設有直角折邊與固定板(6)抵靠，在調整座(8)上設置有槽孔，螺釘穿過槽孔將調整座(8)固定在擺臂(7)上。

3.根據權利要求1所述的一種半導體專用設備用晶片吸附搬運機構，其特征在于：所述吸片臺(9)上表面上設有伸出的凸臺作為彈簧(4)的導桿。