[發明專利]一種半導體專用設備用晶片傳輸裝置

有效

• 申請號: 201010181407.0
• 申請日: 2010-05-25
• 公開（公告）號: CN101866869A
• 公開（公告）日: 2010-10-20
• 發明（設計）人: 楊生榮;張文斌;張敏杰
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十五研究所
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 石家莊新世紀專利商標事務所有限公司 13100
• 代理人: 張杰

1.一種半導體專用設備用晶片傳輸裝置，其特征在于：其包括升降緩沖吸附臺以及和升降緩沖吸附臺可調連接的擺臂(12)；

所述升降緩沖吸附臺包括裝配在一起的吸片臺(7)、上、下彈簧墊(1、6)、小軸(3)、彈簧(4)、滑套(5)、小軸鎖母(2)，其中上、下彈簧墊(1、6)及吸片臺(7)由穿過上、下彈簧墊(1、6)的小軸(3)連接起來，小軸(3)的下端與吸片臺(7)螺紋連接，小軸(3)上端設有螺紋連接的小軸鎖母(2)，小軸(3)至少設置有三個為均勻分布；彈簧(4)套在小軸(3)上位于上、下彈簧墊(1、6)之間，彈簧(4)兩端分別與滑套(5)和彈簧下墊(6)連接，滑套(5)套在彈簧(4)上位于上彈簧墊(1)之下，上彈簧墊(1)上設有與滑套(5)配套的凹坑；在小軸鎖母(2)上設有緊固螺釘(13)，彈簧下墊(6)與吸片臺(7)接觸的端面上開設有環形下凹氣道(14)；吸片臺(7)的下表面上均勻布設有同心環形凹槽(15)，并設有將各環形凹槽(15)溝通的兩條互垂直的徑向凹槽(16)。

2.根據權利要求1所述的一種半導體專用設備用晶片傳輸裝置，其特征在于：本發明所述擺臂(12)與升降緩沖吸附臺的可調連接為，在擺臂(12)上固定有角板架(11)，角板架(11)上設有槽孔(17)，所述螺釘穿過槽孔(17)將角板架(11)固定在擺臂(12)上，角板架(11)另一端設有直角折邊與彈簧上墊(1)抵靠，擺臂(12)端部并排固定有兩個螺紋圓柱銷(9)，螺紋圓柱銷(9)另一端穿過角板架(11)與彈簧上墊(1)螺紋連接；在角板架(11)上固定有彈簧卡固定板(10)，在彈簧上墊(1)上安裝有彈簧卡拉鉤(8)，彈簧卡固定板(10)和彈簧卡拉鉤(8)間設置有用來控制彈簧上墊(1)和擺臂(12)間相對距離的彈性裝置。

3.根據權利要求1所述的一種半導體專用設備用晶片傳輸裝置，其特征在于：中所述彈簧下墊(6)下表面上設置的環形下凹氣道(14)深度為1毫米，直徑在130毫米至132毫米；所述設置在吸片臺(7)下表面上的環形凹槽(15)間距為5毫米、寬度為0.3毫米、深度為1毫米，徑向凹槽(16)寬度為0.3毫米、深度為1毫米。