[發明專利]晶片中心定位裝置

有效

• 申請號: 201010181396.6
• 申請日: 2010-05-25
• 公開（公告）號: CN101877325A
• 公開（公告）日: 2010-11-03
• 發明（設計）人: 張文斌;王仲康;楊生榮;袁立偉
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十五研究所
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68
• 代理公司: 石家莊新世紀專利商標事務所有限公司 13100
• 代理人: 張貳群

技術領域

本發明涉及半導體專用設備晶片中心定位裝置技術領域。

背景技術

在半導體專用設備制造過程中，實現硅片的自動中心定位是一項關鍵技術。在現代化的生產設備中，常見的對晶片中心定位的裝置有：V形中心定位、旋轉中心定位等。其中V形中心定位對V形件表面粗糙度要求很高，加工難度大；旋轉中心定位裝置結構較為復雜，旋轉控制難度大，還存在難于控制的問題，而且精度難以保證，成本也較高。

發明內容

本發明的目的是提供一種晶片中心定位裝置，主要要解決傳統晶片中心定位裝置控制難度大、結構復雜的技術問題，與現有技術相比，該裝置具有結構簡單緊湊、運行平穩、可靠性強、使用方便的特點。特別適用于對晶片進行加工的半導體專用設備上。

本發明是這樣實現的：一種晶片中心定位裝置，其特征在于具有以下機械結構：中心盤上安裝有承片臺和軸，軸通過軸承和旋轉盤相連，軸固定在座體上，旋轉盤通過機械傳動裝置和電機相連；中心盤上至少設有3個條形輻射狀孔，各條形輻射狀孔和旋轉盤間均設有曲柄拉鉤機構，每個曲柄拉鉤機構的一端均和旋轉盤相絞聯，另一端通過其上絞聯的定位滑塊和條形輻射狀孔滑動配合。

所述的中心盤上安裝有可檢測承片臺上有無片的第1傳感器，旋轉盤上安裝有可檢測旋轉盤旋轉角度的第2傳感器及其擋光板。

優選的技術方案，所述的條形輻射狀孔為6個較好。

所述的軸上可依次套有旋轉盤、軸承、內隔圈、外隔圈、軸承、軸承蓋、軸承鎖母，軸承鎖母通過螺紋和緊定螺釘固定在軸上；機械傳動裝置的大齒輪安裝在旋轉盤上，小齒輪與大齒輪嚙合。

所述的定位滑塊及其連接關系可為：在第1鎖緊螺釘依次套有拉鉤擋圈、拉鉤、下滑柱、中心盤、滑柱軸承、上定位滑柱。

本發明的積極效果是明顯的：主要要解決了傳統晶片中心定位裝置控制難度大、結構復雜的技術問題，與現有技術相比，該裝置具有結構簡單緊湊、運行平穩、可靠性強、使用方便的特點。特別適用于對晶片進行加工的半導體專用設備上。

附圖說明

圖1是本發明的結構示意圖。

圖2是圖1的仰視立體結構示意圖。

圖3是圖1的立體結構示意圖。

圖中：1-中心盤，2-下滑柱，3-上位滑柱，4-第1鎖緊螺釘，5-滑柱軸承，6-拉鉤擋圈，7-拉鉤(或拉桿)，8-軸承，9-承片臺，10-軸，11-內隔圈，12-外隔圈，13-旋轉盤，14-第1傳感器，15-座體(或電機板)，16-第2傳感器底板，17-小齒輪，18-第2傳感器及其擋光板，19-第2傳感器，20-大齒輪，21軸承蓋，22-軸承鎖母，23-第2鎖緊螺釘，24-緊定螺釘，25-第3鎖緊螺釘，26-滑柱軸承鎖母，27-拉鉤軸墊。

具體實施方式

下面結合較佳實施例和附圖對本發明進一步說明，但不作為對本發明的限定。

參見圖1、2、3，該晶片中心定位裝置，具有以下機械結構：中心盤1上安裝有承片臺9和軸10，軸10通過軸承8和旋轉盤13相連，軸10固定在座體15上，旋轉盤13通過機械傳動裝置和電機相連；中心盤1上設有6個條形輻射狀孔，各條形輻射狀孔和旋轉盤13間均設有曲柄拉鉤機構，每個曲柄拉鉤機構的一端均和旋轉盤13相絞聯，另一端通過其上絞聯的定位滑塊和條形輻射狀孔滑動配合；中心盤1上安裝有可檢測承片臺9上有無片的第1傳感器14，旋轉盤13上安裝有可檢測旋轉盤旋轉角度的第2傳感器及其擋光板18。軸10上依次套有旋轉盤13、軸承8、內隔圈11、外隔圈12、軸承8、軸承蓋21、軸承鎖母22，軸承鎖母22通過螺紋和緊定螺釘24固定在軸10上；機械傳動裝置的大齒輪20安裝在旋轉盤13上，小齒輪17與大齒輪20嚙合。定位滑塊及其連接關系為：在第1鎖緊螺釘4依次套有拉鉤擋圈6、拉鉤7、下滑柱2、中心盤1、滑柱軸承5、上定位滑柱3。拉鉤7一端聯在中心盤1上，拉鉤7另一端固定在旋轉盤13上，第3鎖緊螺釘25依次套有拉鉤擋圈6、拉鉤7、拉鉤軸墊27、滑柱軸承5、旋轉盤13、滑柱軸承鎖母26。第1傳感器14安裝在中心盤1上，第2傳感器19和第2傳感器底板16安裝在電機板15上，第2傳感器及其擋光板18安裝在旋轉盤13上。