[發(fā)明專利]晶片中心定位裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010181396.6
• 申請(qǐng)日: 2010-05-25
• 公開（公告）號(hào): CN101877325A
• 公開（公告）日: 2010-11-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張文斌;王仲康;楊生榮;袁立偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所
• 主分類號(hào): H01L21/68
• 分類號(hào): H01L21/68
• 代理公司: 石家莊新世紀(jì)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 13100
• 代理人: 張貳群

1.一種晶片中心定位裝置，其特征在于具有以下機(jī)械結(jié)構(gòu)：中心盤(1)上安裝有承片臺(tái)(9)和軸(10)，軸(10)通過軸承(8)和旋轉(zhuǎn)盤(13)相連，軸(10)固定在座體(15)上，旋轉(zhuǎn)盤(13)通過機(jī)械傳動(dòng)裝置和電機(jī)相連；中心盤(1)上至少設(shè)有3個(gè)條形輻射狀孔，各條形輻射狀孔和旋轉(zhuǎn)盤(13)間均設(shè)有曲柄拉鉤機(jī)構(gòu)，每個(gè)曲柄拉鉤機(jī)構(gòu)的一端均和旋轉(zhuǎn)盤(13)相絞聯(lián)，另一端通過其上絞聯(lián)的定位滑塊和條形輻射狀孔滑動(dòng)配合。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片中心定位裝置，其特征在于中心盤(1)上安裝有可檢測(cè)承片臺(tái)(9)上有無片的第1傳感器(14)，旋轉(zhuǎn)盤(13)上安裝有可檢測(cè)旋轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)角度的第2傳感器及其擋光板(18)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片中心定位裝置，其特征在于所述的條形輻射狀孔為6個(gè)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片中心定位裝置，其特征在于所述的軸(10)上依次套有旋轉(zhuǎn)盤(13)、軸承(8)、內(nèi)隔圈(11)、外隔圈(12)、軸承(8)、軸承蓋(21)、軸承鎖母(22)，軸承鎖母(22)通過螺紋和緊定螺釘(24)固定在軸(10)上；機(jī)械傳動(dòng)裝置的大齒輪(20)安裝在旋轉(zhuǎn)盤(13)上，小齒輪(17)與大齒輪(20)嚙合。

5.根據(jù)權(quán)利要求1、2或3所述的晶片中心定位裝置，其特征在于所述的定位滑塊及其連接關(guān)系為：在第1鎖緊螺釘(4)依次套有拉鉤擋圈(6)、拉鉤(7)、下滑柱(2)、中心盤(1)、滑柱軸承(5)、上定位滑柱(3)。