[發明專利]X射線檢查裝置

有效

• 申請號: 201010181213.0
• 申請日: 2010-05-13
• 公開（公告）號: CN101887131A
• 公開（公告）日: 2010-11-17
• 發明（設計）人: 井筒勝典
• 申請（專利權）人: 株式會社石田
• 主分類號: G01T1/20
• 分類號: G01T1/20
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳;劉春成

技術領域

本發明涉及一種對物品照射X射線，檢測物品內的異物的X射線檢查裝置。

背景技術

一直以來，為了檢測出物品內的異物而使用X射線檢查裝置等。對于這些X射線檢查裝置的研究開發每天都在進行。

在專利文獻1中公開了一種放射線檢測器用部件，其能夠線焊所需的空間最小，容易實現放射線檢測器的小型化和制作，并且使二維檢測裝置的制作變得容易。該放射線檢測器用部件被用于X射線檢查裝置中。

專利文獻1中所述的放射線檢測器用部件包括被配置在基板上面的一部分區域上的光電元件，輸出基于該光電元件所接收的光的強度的電信號。該光電元件在其受光面上具有第一襯墊。放射線檢測器用部件包括：被配置在基板的其它區域上的襯墊形成部、和在該襯墊形成部上所形成的第二襯墊。第二襯墊按照與被配置在光電元件的受光面上的第一襯墊形成同一平面的方式配置，并且與第一襯墊電連接。

而且，在專利文獻1中所述的放射線檢測器用部件中，在比光電元件的受光面更靠近受光方向的上游一側還具備光波導路(參照專利文獻1的權利要求22以及圖7)。

專利文獻1：特開2003-084066號公報

例如，在專利文獻1所述的放射線檢測用部件中，使用準直儀14作為光波導管，僅用于檢測平行光的例子(參照專利文獻1的圖7)。但是，如專利文獻1中記載的圖7所示，使光電二極管陣列2與閃爍器陣列11的大小一致，在形成矩陣的情況下，模具費用等、制造工藝所需費用極大。

因此，從降低成本的觀點來看，如果考慮使用光學粘合劑在光電二極管陣列(以下簡稱PDA)2上粘合閃爍器陣列11的粘合工藝，那么，PDA2的寬度很小，為0.1mm～0.9mm左右，在此情況下，閃爍器陣列11的寬度也必須為數mm。

因此，由于閃爍器陣列11比PDA2大，所以被閃爍器陣列11變換的可見光相對于PDA2衍射，微小的檢出物的檢測變得困難。以下，對該衍射進行說明。

圖10是用于說明使微小異物的檢測降低的狀態的斷面示意圖。

如圖10所示，在現有的X射線檢查裝置900中，從X射線照射裝置200照射X射線S1，X射線S1透過傳送帶801，從閃爍器300的閃爍元件310a、310b、310c、310d、310e發出可見光。并且該可見光射入到PDA400中，發出電信號。

像這樣，在照射X射線S1的情況下，閃爍器300的閃爍元件310a、310b、310c、310d、310e朝向全方位360度的方向發出可見光。因此，在物品內存在微小異物的情況下，從位于微小異物的下方的閃爍元件不發出可見光。但是，由于存在多個閃爍元件，因此，通過位于物品內的微小異物的下方附近的閃爍元件被變換的可見光就會射入到PDA400中。由此，光電二極管陣列400中的微小異物的電信號邊緣變薄，難以檢測出物品內有無微小異物。

發明內容

本發明的目的在于提供一種采用簡單的構造就能準確地檢測出微小異物的X射線檢查裝置。

(1)本發明涉及的X射線檢查裝置包括：X射線照射裝置、閃爍器、槽縫部件、和光電二極管陣列，其輸送檢查對象物并檢測出所述檢查對象物內的異物。X射線照射裝置對檢查對象物照射X射線。閃爍器沿著與輸送方向交叉的方向延伸設置，將從X射線照射裝置照射的X射線變換成可見光。槽縫部件形成有沿著與輸送方向交叉的方向延伸設置的槽縫，并且相對于閃爍器被配置在X射線照射一側。光電二極管陣列沿著閃爍器的設置方向而設置，檢測出通過閃爍器進行光變換而得到的可見光，并將該可見光變換成電信號。槽縫部件的槽縫寬度比閃爍器的寬度小，為光電二極管陣列的受光寬度的二分之一以上。

在本發明的X射線檢查裝置中，X射線從X射線照射裝置被照射在檢查對象物上，通過槽縫部件的槽縫的X射線通過閃爍器被變換成可見光，被變換得到的可見光通過光電二極管陣列而被檢測出，并被變換成電信號。

在此情況下，槽縫部件的槽縫寬度比閃爍器的寬度小，是光電二極管陣列的受光寬度的二分之一以上的大小。因此，能夠用閃爍器將通過槽縫部件的槽縫的X射線準確地進行光變換，利用光電二極管陣列變換成電信號。

而且，在檢測出檢查對象物內的微小異物的情況下，利用槽縫部件能夠防止可見光的衍射，能夠明確微小異物的邊緣。根據上述內容，通過簡單的構造就能夠準確地檢測出微小的異物。

(2)本發明的X射線檢查裝置還可以包括：照射寬度調整機構，其用于調整通過所述槽縫被照射在所述閃爍器上的照射寬度。