[發明專利]以超重力旋轉填充床純化硅原料的制造方法

有效

• 申請號: 201010180513.7
• 申請日: 2010-05-14
• 公開（公告）號: CN102241402A
• 公開（公告）日: 2011-11-16
• 發明（設計）人: 蘇翔;蘇毅恒;彭麥可
• 申請（專利權）人: 蘇翔;蘇毅恒;彭麥可
• 主分類號: C01B33/107
• 分類號: C01B33/107
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 逯長明

1.一種以超重力旋轉填充床純化硅原料的制造方法，其特征在于，將不純物包含硼、磷等的一或多種不純物，以氯化物、氫化物或包含硼、磷等的氯及氫的中間復合物的形式從該硅原料除去，至少包含下列步驟：

將液態的該硅原料通入有海綿狀金屬填充的第一超重力旋轉填充床，該第一超重力旋轉填充床保持在低于該硅原料的沸點溫度下，無任何氣體通入該第一超重力旋轉填充床，沸點低于該硅原料的不純物氫化物及其它氯硅烷或硅烷蒸汽即從該液態硅原料分離，以幫浦抽出供再利用或丟棄，輸出的該硅原料再通入第二超重力旋轉填充床的硅原料入口；

將液態的該硅原料通入有海綿狀金屬填充的第二超重力旋轉填充床，該第二超重力旋轉填充床保持在低于該硅原料的沸點溫度下，氧氣也從上外圍通入第二超重力旋轉填充床以形成不純物的氫氧化硅復合物，不純物氫化物及其它氯硅烷或硅烷蒸汽即再次從該液態硅原料分離，以幫浦抽出供再利用或丟棄；

收集含有具較硅原料沸點高的不純物的氫氧化硅復合物的液態硅原料；

利用分餾步驟以自硅原料除去包含不純物的氫氧化硅復合物。

2.如權利要求1所述的制造方法，其特征在于，該硅原料包括三氯硅烷及四氯化硅。

3.如權利要求1所述的制造方法，其特征在于，該氧氣量與三氯硅烷與氧氣摩爾比為0.005至0.5。

4.如權利要求1所述的制造方法，其特征在于，該第二超重力旋轉填充床該三氯硅烷入口及該氧氣入口的流速可以控制。