[發明專利]高反射鏡激光積分散射率多角度綜合測量裝置

無效

• 申請號: 201010179258.4
• 申請日: 2010-05-21
• 公開（公告）號: CN101839802A
• 公開（公告）日: 2010-09-22
• 發明（設計）人: 劉衛國;高愛華;孫鑫;王越
• 申請（專利權）人: 西安工業大學
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02;G02B17/06
• 代理公司: 西安新思維專利商標事務所有限公司 61114
• 代理人: 黃秦芳

技術領域

本發明屬于光學元件測試技術領域，特別是涉及一種高反射鏡激光積分散射率多角度綜合測量裝置。

背景技術

高反射鏡在激光陀螺、法布里-波羅干涉儀，激光器等現代高科技領域中有廣泛的應用。散射率的測量可以反應光學表面粗糙度的情況，測量高反射鏡的表面散射率對獲取表面微觀幾何形狀的信息，評價光學表面的微觀質量以及提高光學薄膜的質量，改進薄膜沉積工藝等方面具有重要的現實意義。

目前對積分散射率進行測量時，所采用的方法是：入射光以很小的入射角照射到被測表面后用積分球來收集散射光。在實際應用中，入射光有不同的入射角工作狀態，如激光陀螺中由于有三角形或正方形的的環形激光諧振腔，激光對高反射鏡的入射角實際為30°或45°，另外在諧振腔中不同的激光偏振態其散射損耗也是不同的?，F有技術無法提供適宜的工作狀態。

本發明項目組對國內外專利文獻和公開發表的期刊論文檢索，尚未發現與本發明密切相關或一樣的報道和文獻。

發明內容

本發明要解決的技術問題是提供一種高反射鏡激光積分散射率多角度綜合測量裝置，以填補現有技術在此領域內的空白。

為了解決現有技術存在的問題，本發明提供的技術方案是：

一種高反射鏡激光積分散射率雙角度綜合測量裝置，包括設置于光學平臺19上的光源組件和積分球14，所述光源組件上設置有波片4和衰減片6，所述積分球14上設置有入射口、測量口和輸出口，輸出口上設置有光電倍增管18，入射口上設置有光闌，入射口和測量口上還設置有配件，其特殊之處在于：所述積分球14上還設置有帶配件的消光口，所述入射口、測量口和消光口設置有相互對應的多組，每組中進入入射口的入射光與反射出出光口的射出光的光程近似相等，入射光與測量法線的夾角為測量角，在反射光的光路上、出光口的外側設置有消光阱。

還包括可調的光路轉折組件，光路轉折組件設置于光源組件與積分球14之間。

上述光路轉折組件包括可移動的相對設置的第三反射鏡9和第四反射鏡10。

上述積分球14上設置有兩組測量開口，包括第一入射口、第二入射口、第一測量口、第二測量口、第一出光口23和第二出光口25，其中：

（1）第一入射口上設置第一光闌13，在積分球14以外、反射光的光路上、第一出光口23的外側設置第一消光阱17，該組中從第一入射口到第一測量口的入射光光程與第一測量口到第一出光口23的反射光光程近似相等，入射光與測量法線的夾角為45度測量角,即入射角為45度；

（2）第二入射口上設置第二光闌12，在積分球14以外、反射光的光路上、第二出光口25的外側設置有第二消光阱11，該組中從第二入射口到第二測量口的入射光光程與第二測量口到第二出光口25的反射光光程近似相等，入射光與測量法線的夾角為1.25~2.25度測量角，近似0度,即入射角為0度；

在第一光闌13（第一入射口）、第二光闌12（第二入射口）、第一測量口、第二測量口、第一出光口23和第二出光口25上均設置有配件。

上述積分球14上設置有三組測量開口，包括第一入射口、第二入射口、第三入射口、第一測量口、第二測量口、第三測量口、第一出光口23、第二出光口25和第三出光口24，其中：

（1）第一入射口上設置第一光闌13，在積分球14以外、反射光的光路上、第一出光口23的外側設置有第一消光阱17，該組中從第一入射口到第一測量口的入射光光程與第一測量口到第一消光口23的反射光光程近似相等，入射光與測量法線的夾角為45度測量角,即入射角為45度；

（2）第二入射口上設置第二光闌12，在積分球14以外、反射光的光路上、第二消光口25的外側設置有第二消光阱11，該組中從第二入射口到第二測量口的入射光光程與第二測量口到第二消光口25的反射光光程近似相等，入射光與測量法線的夾角為1.25~2.25度測量角，近似0度,即入射角為0度；

（3）第三入射口上設置第三光闌20，在積分球14以外、反射光的光路上、第三消光口24的外側設置有第三消光阱22，該組中從第三入射口到第三測量口的入射光光程與第三測量口到第三消光口24的反射光光程近似相等，入射光與測量法線的夾角為30度測量角,即入射角為30度；

在第一光闌13（第一入射口）、第二光闌12（第二入射口）、第三光闌20（第三入射口）、第一測量口、第二測量口、第三測量口、第一出光口23、第二出光口25和第三出光口24上均設置有配件。

上述的波片4和衰減片6都設置有多個，分別設置于可旋轉的波片固定圓盤上和可旋轉的衰減片固定圓盤上。