[發明專利]混合氣體供給系統、濺鍍裝置及濺鍍方法

無效

• 申請號: 201010177004.9
• 申請日: 2010-05-19
• 公開（公告）號: CN102251220A
• 公開（公告）日: 2011-11-23
• 發明（設計）人: 洪新欽
• 申請（專利權）人: 鴻富錦精密工業（深圳）有限公司;鴻海精密工業股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種混合氣體供給系統，其包括至少兩個氣體源、至少兩個氣體質量流量控制器及至少兩個第一閥門，每個氣體源與一個第一閥門及一個氣體質量流量控制器依次相連，其特征在于，該混合氣體供給系統還包括至少兩個三通閥門、多個第二閥門、兩個混合腔及兩個第三閥門，每個氣體質量流量控制器通過一個三通閥門選擇性地與一個第二閥門及該兩個混合腔之一個混合腔依次相連，各混合腔設有出氣口，該出氣口由一個第三閥門開合。

2.如權利要求1所述的混合氣體供給系統，其特征在于，該混合氣體供給系統還包括兩個排氣泵，每個排氣泵與一個混合腔相通。

3.如權利要求2所述的混合氣體供給系統，其特征在于，該兩個混合腔通過該兩個第三閥門相互連通。

4.如權利要求1至3任一項所述的混合氣體供給系統，其特征在于，該混合氣體供給系統還包括至少兩個逆止閥，每個逆止閥設于一個氣體質量流量控制器及一個與該氣體質量流量控制器對應的三通閥門之間。

5.一種濺鍍裝置，其包括濺鍍腔及用于向該濺鍍腔內供應混合氣體的混合氣體供給系統，該混合氣體供給系統包括至少兩個氣體源、至少兩個氣體質量流量控制器及至少兩個第一閥門，每個氣體源與一個第一閥門及一個氣體質量流量控制器依次相連，其特征在于，該混合氣體供給系統還包括至少兩個三通閥門、多個第二閥門、兩個混合腔及兩個第三閥門，每個氣體質量流量控制器通過一個三通閥門選擇性地與一個第二閥門及該兩個混合腔之一個混合腔依次相連，各混合腔設有出氣口，該出氣口通過一個第三閥門與該濺鍍腔相連。

6.如權利要求5所述的濺鍍裝置，其特征在于，該混合氣體供給系統還包括兩個排氣泵，每個排氣泵與一個混合腔相通。

7.如權利要求6所述的濺鍍裝置，其特征在于，該兩個混合腔通過該兩個第三閥門相互連通后與該濺鍍腔相連。

8.如權利要求5至7任一項所述的濺鍍裝置，其特征在于，該混合氣體供給系統還包括至少兩個逆止閥，每個逆止閥設于一個氣體質量流量控制器及一個與該氣體質量流量控制器對應的三通閥門之間。

9.一種濺鍍方法，包括：

提供如權利要求5所述的濺鍍裝置及待鍍工件；

于該三通閥門的控制下自該至少兩個氣體源向該兩個混合腔之一個混合腔輸入各種反應氣體，混合，得第一混合氣體；

輸送該第一混合氣體至該濺鍍腔，濺鍍該工件，同時于該三通閥門的控制下自該至少兩個氣體源向該兩個混合腔之另一個混合腔輸入各種反應氣體，混合，得第二混合氣體；及

輸送該第二混合氣體至該濺鍍腔，濺鍍該工件。

10.如權利要求9所述的濺鍍方法，其特征在于，該濺鍍裝置還包括兩個排氣泵，每個排氣泵與一個混合腔相通，該濺鍍方法還包括于輸送該第二混合氣體至該濺鍍腔內的同時，采用該排氣泵抽凈該第一混合氣體。