[發(fā)明專利]循環(huán)蒸鍍裝置

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010171125.2
• 申請日: 2010-05-06
• 公開（公告）號: CN101956174A
• 公開（公告）日: 2011-01-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊明生;葉宗鋒;郭遠(yuǎn)倫;劉惠森;范繼良;王勇;王曼媛
• 申請（專利權(quán)）人: 東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/24
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種蒸鍍裝置，尤其涉及一種可對蒸鍍材料及時(shí)供給并循環(huán)輸入，且能進(jìn)行連續(xù)蒸鍍的循環(huán)蒸鍍裝置。

背景技術(shù)

OLED(Organic?Light-Emitting?Diode，即有機(jī)發(fā)光二極管)，其最基本的結(jié)構(gòu)包括陰極、陽極及發(fā)光層，發(fā)光層形成于陰極與陽極之間，在陰極與陽極之間加適當(dāng)電壓后，陰極向發(fā)光層注入電子，陽極向發(fā)光層注入空穴，當(dāng)電子和空穴達(dá)較高的注入密度時(shí)，會(huì)在發(fā)光層中結(jié)合形成大量的激子(即空穴-電子對)，激子由激發(fā)狀態(tài)回落在基礎(chǔ)狀態(tài)時(shí)產(chǎn)生輻射進(jìn)而發(fā)光；為提高有機(jī)發(fā)光器件的發(fā)光效率，必須通過發(fā)光層順暢地輸送空穴和電子，為此在陰極和發(fā)光層之間依次形成電子注入層和電子輸送層，在發(fā)光層與陽極之間依次形成空穴傳輸層和空穴注入層，其生產(chǎn)工藝一般為在玻璃基板上形成一透明陽極，在陽極上依次沉積空穴注入層、空穴傳輸層、發(fā)光層、電子傳輸層和電子注入層，最后是金屬陰極；而在基板上形成薄膜的方法主要有真空蒸鍍法、鍍離子法及濺射法等物理蒸鍍法，還有利用氣體反應(yīng)的化學(xué)氣相沉積法等，其中，在有機(jī)發(fā)光器件的薄膜主要利用真空蒸鍍法形成。

用于真空蒸鍍法的蒸鍍裝置一般包括真空腔體、抽真空系統(tǒng)及動(dòng)力傳輸系統(tǒng)，真空腔體用于執(zhí)行蒸鍍工藝，該真空腔體與抽真空系統(tǒng)連通，待蒸鍍的基板通過動(dòng)力傳輸系統(tǒng)傳輸?shù)秸婵涨惑w內(nèi)，在真空腔體內(nèi)設(shè)置有蒸發(fā)舟，蒸發(fā)舟與外界電源連接，當(dāng)適當(dāng)?shù)碾娏髁魍ǖ秸舭l(fā)舟后，蒸發(fā)舟因電阻效應(yīng)產(chǎn)生熱量，加熱蒸發(fā)舟內(nèi)的蒸鍍材料，蒸鍍材料到達(dá)熔點(diǎn)后產(chǎn)生蒸氣，氣化后的蒸鍍材料沉積在待蒸鍍的基板上行形成薄膜層。然而，現(xiàn)有的蒸鍍裝置需要更換、添加蒸鍍材料，或需要清潔維護(hù)蒸發(fā)舟時(shí)，需要停止蒸鍍工藝，開啟真空腔體后進(jìn)行更換和維護(hù)，不便于蒸鍍材料的及時(shí)添加，也使操作不夠靈活，待更換完蒸鍍材料或維護(hù)完蒸發(fā)舟后再繼續(xù)蒸鍍工藝，使得蒸鍍工藝不能連續(xù)進(jìn)行，降低蒸鍍效率。

因此，急需一種結(jié)構(gòu)簡單、方便蒸鍍材料及時(shí)供給及循環(huán)添加、并能進(jìn)行連續(xù)蒸鍍的蒸鍍裝置。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種結(jié)構(gòu)簡單、方便蒸鍍材料及時(shí)供給及循環(huán)添加、并能進(jìn)行連續(xù)蒸鍍的循環(huán)蒸鍍裝置。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案為：提供一種循環(huán)蒸鍍裝置，包括主腔體及至少兩組活動(dòng)蒸發(fā)舟單元，所述主腔體與抽真空系統(tǒng)連通，所述活動(dòng)蒸發(fā)舟單元密封地樞接于所述主腔體上，其中，所述活動(dòng)蒸發(fā)舟單元包括驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)、長軸、蒸發(fā)舟及呈中空結(jié)構(gòu)的副腔體，所述副腔體與所述主腔體連接，所述長軸貫穿地樞接于所述副腔體上，所述長軸的一端與所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)連接，所述長軸的另一端與所述蒸發(fā)舟連接，所述蒸發(fā)舟伸入所述主腔體內(nèi)并與所述主腔體密封地樞接，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過所述長軸帶動(dòng)所述蒸發(fā)舟運(yùn)動(dòng)。

較佳地，所述主腔體上相對于所活動(dòng)蒸發(fā)舟單元的位置處開設(shè)有蒸鍍通道，所述活動(dòng)蒸發(fā)舟單元的蒸發(fā)舟穿過所述蒸鍍通道并伸入所述主腔體內(nèi)，所述長軸位于所述主腔體外；更具體地，所述副腔體上對應(yīng)所述蒸鍍通道的位置處設(shè)置有蒸發(fā)舟通道，所述蒸發(fā)舟通過所述蒸發(fā)舟通道進(jìn)出所述副腔體。蒸鍍過程中需要更換蒸鍍材料或需要對蒸發(fā)舟進(jìn)行維護(hù)時(shí)，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)通過長軸拉動(dòng)蒸發(fā)舟，蒸發(fā)舟通過蒸發(fā)舟通道被拉入副腔體內(nèi)，在副腔體內(nèi)進(jìn)行蒸鍍材料的更換或添加，蒸發(fā)舟的清潔或維護(hù)等，不需要打開主腔體即可方便的進(jìn)行蒸鍍材料的供給或蒸發(fā)舟的維護(hù)，操作簡單靈活。

較佳地，所述主腔體的蒸鍍通道處均設(shè)置有真空閥門；更具體地，所述真空閥門為閘板閥。閘板閥具有結(jié)構(gòu)簡單、開閉省力、操作精確等優(yōu)點(diǎn)，使用閘板閥控制蒸鍍通道的啟閉，操作簡單并能很好的保持主腔體內(nèi)的真空度。

較佳地，所述抽真空系統(tǒng)包括第一抽真空系統(tǒng)及第二抽真空系統(tǒng)，所述第一抽真空系統(tǒng)與所述主腔體連通，所述第二抽真空系統(tǒng)與所述副腔體連通。蒸發(fā)舟在副腔體內(nèi)添加蒸鍍材料或維護(hù)的過程中，或完成上述過程后，第二抽真空系統(tǒng)對副腔體進(jìn)行抽真空，以產(chǎn)生與主腔體相適應(yīng)的真空度，當(dāng)副腔體內(nèi)的真空度與主腔體內(nèi)的真空度相適應(yīng)時(shí)，將蒸發(fā)舟送入主腔體內(nèi)進(jìn)行蒸鍍工藝，這樣減少蒸鍍前的等待時(shí)間，提高蒸鍍效率，同時(shí)使主腔體內(nèi)的環(huán)境一直維持在蒸鍍條件下，進(jìn)而保證較高的蒸鍍質(zhì)量。