[發(fā)明專利]循環(huán)蒸鍍裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201010171125.2 | 申請日: | 2010-05-06 |
| 公開(公告)號: | CN101956174A | 公開(公告)日: | 2011-01-26 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 楊明生;葉宗鋒;郭遠(yuǎn)倫;劉惠森;范繼良;王勇;王曼媛 | 申請(專利權(quán))人: | 東莞宏威數(shù)碼機械有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/56 | 分類號: | C23C14/56;C23C14/24 |
| 代理公司: | 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202 | 代理人: | 張艷美;郝傳鑫 |
| 地址: | 523000 廣東*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 循環(huán) 裝置 | ||
1.一種循環(huán)蒸鍍裝置,包括主腔體及至少兩組活動蒸發(fā)舟單元,所述主腔體與抽真空系統(tǒng)連通,所述活動蒸發(fā)舟單元密封地樞接于所述主腔體上,其特征在于:所述活動蒸發(fā)舟單元包括驅(qū)動機構(gòu)、長軸、蒸發(fā)舟及呈中空結(jié)構(gòu)的副腔體,所述副腔體與所述主腔體連接,所述長軸貫穿地樞接于所述副腔體上,所述長軸的一端與所述驅(qū)動機構(gòu)連接,所述長軸的另一端與所述蒸發(fā)舟連接,所述蒸發(fā)舟伸入所述主腔體內(nèi)并與所述主腔體密封地樞接,所述驅(qū)動機構(gòu)通過所述長軸帶動所述蒸發(fā)舟運動。
2.如權(quán)利要求1所述的循環(huán)蒸鍍裝置,其特征在于:所述主腔體上相對于所活動蒸發(fā)舟單元的位置處開設(shè)有蒸鍍通道,所述活動蒸發(fā)舟單元的蒸發(fā)舟穿過所述蒸鍍通道并伸入所述主腔體內(nèi),所述長軸位于所述主腔體外。
3.如權(quán)利要求2所述的循環(huán)蒸鍍裝置,其特征在于:所述副腔體上對應(yīng)所述蒸鍍通道的位置處設(shè)置有蒸發(fā)舟通道,所述蒸發(fā)舟通過所述蒸發(fā)舟通道進(jìn)出所述副腔體。
4.如權(quán)利要求2所述的循環(huán)蒸鍍裝置,其特征在于:所述主腔體的蒸鍍通道處均設(shè)置有真空閥門。
5.如權(quán)利要求4所述的循環(huán)蒸鍍裝置,其特征在于:所述真空閥門為閘板閥。
6.如權(quán)利要求1所述的循環(huán)蒸鍍裝置,其特征在于:所述抽真空系統(tǒng)包括第一抽真空系統(tǒng)及第二抽真空系統(tǒng),所述第一抽真空系統(tǒng)與所述主腔體連通,所述第二抽真空系統(tǒng)與所述副腔體連通。
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C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學(xué)轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆
C23C14-00 通過覆層形成材料的真空蒸發(fā)、濺射或離子注入進(jìn)行鍍覆
C23C14-02 .待鍍材料的預(yù)處理
C23C14-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物
C23C14-06 .以鍍層材料為特征的
C23C14-22 .以鍍覆工藝為特征的
C23C14-58 .后處理





