[發明專利]復合基板及使用其的彈性波器件無效
| 申請號： | 201010171034.9 | 申請日： | 2010-04-28 |
| 公開（公告）號： | CN102130663A | 公開（公告）日： | 2011-07-20 |
| 發明（設計）人： | 鈴木健司 | 申請（專利權）人： | 日本礙子株式會社 |
| 主分類號： | H03H9/145 | 分類號： | H03H9/145;H03H9/05 |
| 代理公司： | 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243 | 代理人： | 鐘晶 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 復合 使用 彈性 器件 | ||
【權利要求書】：
1.一種復合基板，其具有：
壓電基板，所述壓電基板能夠傳播彈性波；
支持基板，所述支持基板在方位(111)面通過有機粘合層粘合于上述壓電基板的背面，為熱膨脹系數小于所述壓電基板的硅制支持基板。
2.根據權利要求1所述的復合基板，其中，所述壓電基板在背面具有金屬膜。
3.根據權利要求1所述的復合基板，其中，所述壓電基板在背面具有金屬膜和絕緣膜。
4.根據權利要求1至3的任一項所述的復合基板，其中，所述壓電基板和所述支持基板的熱膨脹系數差為10ppm/K以上。
5.根據權利要求4所述的復合基板，其中，上述壓電基板由鉭酸鋰、鈮酸鋰、鈮酸鋰-鉭酸鋰固溶體單結晶、水晶或硼酸鋰形成。
6.一種彈性表面波濾波器，其使用權利要求5所述的復合基板而形成。
7.一種彈性表面波諧振器，其使用權利要求5所述的復合基板而形成。
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