[發明專利]預濃縮器熱交換處理方法及裝置無效
| 申請號: | 201010170844.2 | 申請日: | 2010-05-13 |
| 公開(公告)號: | CN102243149A | 公開(公告)日: | 2011-11-16 |
| 發明(設計)人: | 李冬梅;侯成誠;閆學峰;劉明;謝常青;周文;汪幸 | 申請(專利權)人: | 中國科學院微電子研究所 |
| 主分類號: | G01N1/28 | 分類號: | G01N1/28 |
| 代理公司: | 北京市德權律師事務所 11302 | 代理人: | 王建國 |
| 地址: | 100029 *** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 濃縮器 熱交換 處理 方法 裝置 | ||
1.一種預濃縮器熱交換處理方法,其特征在于,包括:
用密封體對預濃縮器進行密封,以減少預濃縮器與外界的熱交換;及
將所述密封體設置的開口打開,引入傳感器中的流動氣體對預濃縮器降溫。
2.根據權利要求1所述的方法,其特征在于:?
所述開口是2個,呈兩端斜對稱方式設置于所述密封體上。
3.根據權利要求2所述的方法,其特征在于:
所述開口中其中一個連接傳感器件的出氣口;另一個連接外界。
4.根據權利要求1所述的方法,其特征在于:
所述密封體是由多層耐高溫板材構成的。
5.根據權利要求1至4任一項所述的方法,其特征在于:?
所述密封體呈矩形狀。
6.一種預濃縮器熱交換處理裝置,其特征在于:
將所述預濃縮器設置在一密封體內,在所述密封體上設置開口。
7.根據權利要求6所述的裝置,其特征在于:?
所述開口是2個,呈兩端斜對稱方式設置于所述密封體。
8.根據權利要求7所述的裝置,其特征在于:
所述開口中其中一個連接傳感器件的出氣口;另一個連接外界。
9.根據權利要求6所述的方法,其特征在于:
所述密封體是由多層耐高溫板材構成的。
10.根據權利要求6至9任一項所述的方法,其特征在于:?
所述密封體呈矩形狀。
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