[發明專利]制造半導體裝置的設備及方法

有效

• 申請號: 201010170245.0
• 申請日: 2010-04-27
• 公開（公告）號: CN101996479B
• 公開（公告）日: 2014-07-02
• 發明（設計）人: 劉旭水;汪業杰;白峻榮
• 申請（專利權）人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號: G08C17/02
• 分類號: G08C17/02;G01D21/02;H01L21/00
• 代理公司: 北京德恒律師事務所 11306
• 代理人: 陸鑫;高雪琴

技術領域

本發明涉及一種傳感器，特別涉及一種用于半導體制造的便攜式無線傳 感器。

背景技術

半導體制造需要許多制造工具。這些制造工具使用內部或外部傳感器測 量工藝參數例如溫度、電流、電壓或壓力。然而，制造工具能測量的參數為 供應商所限制，制造工具經常無法提供測量一些額外需要的工藝參數。此外， 制造工具原始配置的傳感器通常有線而且難以拆卸。另外，傳感器通常設計 成只能感應單一參數，并且難以整合額外的功能到傳感器。

因此，雖然現有的半導體制造工具傳感器通常已能滿足機臺設備基本需 求，然而在就各層面還是無法完全滿足。

發明內容

為克服上述現有技術的缺陷，本發明其中一種形式包含一種用于制造一 半導體裝置的設備。該設備包括一便攜式裝置，該便攜式裝置包括：一個或多 個的傳感器，分別測量一個或多個的工藝參數，該工藝參數不同于該其他工 藝參數；以及一無線收發器，耦接該一個或多個的傳感器，該無線收發器接 收該一個或多個的工藝參數并且傳送包含這些工藝參數的無線信號。

本發明的另一種形式包含一種用于制造一半導體裝置的設備。該設備包 括一便攜式裝置，該便攜式裝置包括：一個或多個的傳感器，以一模擬形態 測量一個或多個的工藝數據；一信號轉換器，轉換一個或多個的工藝數據從 該模擬形態到一數字形態；一微處理器，使用一既定的通信協議處理該測量 的一個或多個的工藝數據；以及一無線收發器，傳輸包含一個或多個的工藝 數據的無線信號。

本發明的另一形式包含一種用于制造一半導體裝置的方法。該方法包括： 使用一第一傳感器測量一第一工藝參數；使用一第二傳感器測量一第二工藝 參數，該第二工藝參數不同于該第一工藝參數；以此類推；以及使用一無線 收發器傳輸包含該測量的一個或多個的工藝參數的無線信號；并將該無線收 發器及上述所提的傳感器整合至一單一便攜式裝置。

本發明提供的一種用于制造半導體裝置的設備可以提供測量一些額外 需要的工藝參數并且是可拆卸的，因而可以滿足各層面的要求。

附圖說明

圖1是半導體制造系統的示意圖；

圖2是圖1的半導體制造系統的一部分的例證的實施例的示意圖；

圖3是無線便攜式多功能傳感器以及無線地耦接到傳感器的診斷工具的 示意圖；

圖4是圖3的無線便攜式多功能傳感器的例證的實施例與應用的示意 圖；

圖5A是圖3的無線便攜式多功能傳感器的另一例證的實施例與應用的 示意圖；

圖5B是說明無線便攜式多功能傳感器的運行的立體軸線的示意圖；

圖5C-圖5E是圖5A的無線便攜式多功能傳感器所產生的例證數據標繪 圖；以及

圖6是圖3的無線便攜式多功能傳感器的另一例證的實施例與應用的示 意圖。

其中，附圖標記說明如下：

40～半導體制造系統??45～傳動機械手臂

50～真空系統??55～電源供應

60～溫度控制??65～輸入/輸出工具

70～化學機械研磨工具??75～循環系統

80～射頻產生器及匹配系統

85、86、87、88、89、90、91、92～無線收發器

100～診斷工具??102～無線收發器

105～數據提取器??110～中央化服務器

112～電流傳感器??114～壓力傳感器

116～振動傳感器

118、122、127、135、146、158、168～I/O接口

120～壓力傳感器??125～功率傳感器

130～電流傳感器??132～電阻傳感器

134～溫度傳感器??136～外部傳感器

140～振動傳感器??142～溫度傳感器

144～電阻傳感器??150～流量傳感器

152～溫度傳感器??154～光譜傳感器

156～液位傳感器??160～功率傳感器

162～電流傳感器??164～溫度傳感器

166～位置傳感器??70～化學機械研磨工具

140A、140B、142、144～傳感器