[發明專利]制造半導體裝置的設備及方法

有效

• 申請號: 201010170245.0
• 申請日: 2010-04-27
• 公開（公告）號: CN101996479B
• 公開（公告）日: 2014-07-02
• 發明（設計）人: 劉旭水;汪業杰;白峻榮
• 申請（專利權）人: 臺灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號: G08C17/02
• 分類號: G08C17/02;G01D21/02;H01L21/00
• 代理公司: 北京德恒律師事務所 11306
• 代理人: 陸鑫;高雪琴

1.一種用于制造一半導體裝置的設備，該設備包括：一便攜式裝置，其 中該便攜式裝置耦接一半導體制造工具，其特征在于，該便攜式裝置包括：

第一傳感器和第二傳感器，分別測量該半導體制造工具的第一及第二工 藝參數，該第一工藝參數不同于該第二工藝參數；以及

一無線收發器，耦接該第一及第二傳感器，該無線收發器接收所述第一 和第二傳感器測量到的所述第一和第二工藝參數的數據并且傳送包含所測量 到的第一及第二工藝參數的數據的無線信號；

所述設備還包括診斷工具，接收到所測量到的第一及第二工藝參數的數 據，所述診斷工具系統進一步包括中央化服務器，判斷所測量到的第一及第 二工藝參數的數據是否落入可接受范圍，如果未落入，則發出控制信號以指 示對所述半導體制造工具進行制造相關的調整。

2.如權利要求1所述的用于制造一半導體裝置的設備，其中該便攜式裝 置耦接一半導體制造工具具體為該便攜式裝置是可拆卸地耦接一半導體制造 工具。

3.如權利要求1所述的用于制造一半導體裝置的設備，其中該便攜式裝 置還包括一信號轉換器及一微控制器，其中該信號轉換器、該微控制器、該 無線收發器以及該第一及第二傳感器分別有一各自的輸入與一各自的輸出， 并且其中：

該信號轉換器的該輸入耦接到該第一和第二傳感器的輸出；

該微控制器的該輸入耦接到該信號轉換器的該輸出；以及

該無線收發器的輸入耦接到該微控制器的該輸出。

4.如權利要求3所述的用于制造一半導體裝置的設備，還包括一存儲裝 置，經由一通信接口耦接到該微控制器，該存儲裝置存儲該測量的第一和第 二工藝參數。

5.如權利要求3所述的用于制造一半導體裝置的設備，其中該信號轉換 器包括第一和第二模擬對數字轉換通道，分別耦接該第一和第二傳感器的輸 出，該第一和第二模擬對數字轉換通道分別轉換該測量的第一和第二工藝參 數自一模擬形態到數字形態。

6.如權利要求1所述的用于制造一半導體裝置的設備，其中該便攜式裝 置可拆卸地耦接到一真空泵浦的一外部表面，以及其中：

該第一傳感器測量該真空泵浦的一振動作為該第一工藝參數；以及

該第二傳感器測量該真空泵浦的一溫度作為該第二工藝參數。

7.如權利要求1所述的用于制造一半導體裝置的設備，其中該便攜式裝 置可拆卸地耦接一曝光處理工具的一移動臺，以及其中：

該第一傳感器測量該曝光處理工具的一振動作為該第一工藝參數；以及

該第二傳感器測量該曝光處理工具的一水平作為該第二工藝參數。

8.如權利要求1所述的用于制造一半導體裝置的設備，其中該便攜式裝 置可拆卸地耦接一傳輸機械手臂，該傳輸機械手臂具有一馬達以及控制該馬 達的一編碼器，以及其中：

該第一傳感器測量該馬達的一電流負載作為該第一工藝參數；以及

該第二傳感器測量該編碼器的一電壓作為該第二工藝參數。

9.一種用于制造一半導體裝置的方法，包括:使用一第一傳感器測量一 半導體制造工具的第一工藝參數；其特征在于，所述方法還包括：

使用一第二傳感器測量該半導體制造工具的第二工藝參數，該第二工藝 參數不同于該第一工藝參數；以及

使用一無線收發器傳輸包含所測量到的第一和第二工藝參數的數據的無 線信號；其中，組態該無線收發器及該第一和第二傳感器以便該無線收發器 以及該第一和第二傳感器整合至一單一便攜式裝置；

使用診斷工具來接收所述所測量到的第一和第二工藝參數的數據的無線 信號，并判斷所測量到的第一和第二工藝參數的數據是否落入可接受范圍， 如果未落入，則發出控制信號以指示對所述半導體制造工具進行制造相關的 調整。

10.如權利要求9所述的用于制造一半導體裝置的方法，還包括：

使用一信號轉換器轉換該測量的第一和第二工藝參數從一模擬形態到一 數字形態；以及

使用一存儲裝置存儲該測量的第一和第二工藝參數。