[發(fā)明專利]壓電致動(dòng)器的處理設(shè)備和壓電致動(dòng)器的處理方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010165587.3
• 申請日: 2010-04-16
• 公開（公告）號(hào): CN101866654A
• 公開（公告）日: 2010-10-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 井上勝;大河原收;淵野英己
• 申請（專利權(quán)）人: 日本發(fā)條株式會(huì)社
• 主分類號(hào): G11B5/55
• 分類號(hào): G11B5/55
• 代理公司: 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100
• 代理人: 張鑫;袁逸

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及壓電致動(dòng)器所使用的處理設(shè)備和方法，例如涉及檢查設(shè)有壓電致動(dòng)器的盤驅(qū)動(dòng)器懸架的壓電本體。

背景技術(shù)

硬盤驅(qū)動(dòng)器(HDD)用于信息處理設(shè)備，例如個(gè)人計(jì)算機(jī)。盤驅(qū)動(dòng)器包括繞主軸旋轉(zhuǎn)的磁盤、致動(dòng)臂、定位電動(dòng)機(jī)等。致動(dòng)臂配置成通過定位電動(dòng)機(jī)在樞轉(zhuǎn)點(diǎn)周圍相對于盤的磁道橫向地轉(zhuǎn)動(dòng)。懸架安裝在致動(dòng)臂上。構(gòu)成磁頭的滑動(dòng)件設(shè)置在懸架的遠(yuǎn)端部分上。

建議DSA懸架(具有二級(jí)致動(dòng)器的懸架)以應(yīng)付硬盤驅(qū)動(dòng)器記錄密度的增加。DSA懸架的一個(gè)示例公開于特開2002-184140號(hào)公報(bào)(專利文獻(xiàn)1)中。該懸架包括通過定位電動(dòng)機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)的致動(dòng)臂以及包含壓電本體的壓電致動(dòng)器(微型致動(dòng)器)。壓電致動(dòng)器適于相對盤的磁道以無窮小距離高速地橫向移動(dòng)懸架。

例如鋯鈦酸鉛(PZT)的壓電本體用于壓電致動(dòng)器。該壓電本體設(shè)置在第一和第二電極之間。第一電極通過例如銀膏的導(dǎo)電樹脂連接于第一導(dǎo)電部分。第二電極連接于第二導(dǎo)電部分。導(dǎo)電樹脂包括基質(zhì)樹脂以及混合在基質(zhì)樹脂中的銀微粒的金屬填充物等。如果具有壓電致動(dòng)器的盤驅(qū)動(dòng)器懸架中的壓電本體破裂，則其性能劣化。如果壓電本體的性能劣化，則懸架不能表現(xiàn)出預(yù)定的性能。因此，在懸架檢查步驟中，檢查壓電本體的性能是否正常。例如，特開2003-141832號(hào)公報(bào)(專利文獻(xiàn)2)披露一種盤驅(qū)動(dòng)器，它能確定壓電本體是否正常。在這種盤驅(qū)動(dòng)器中，將AC電壓施加于壓電本體，并檢測壓電本體的電容(或靜電容量)。

根據(jù)壓電本體中的導(dǎo)電樹脂的基質(zhì)樹脂中的金屬填充物的混合狀態(tài)，電阻值由于填充物之間不充分的導(dǎo)電性而變動(dòng)。電阻值的變動(dòng)對檢測結(jié)果的影響不小。因此在某些情形下，可在測量壓電本體的電容前執(zhí)行使金屬填充物介質(zhì)擊穿的步驟。例如，如果將相對高的電壓(例如12V?DC)施加于導(dǎo)電樹脂，則在金屬填充物之間發(fā)生介電擊穿。通過這種介電擊穿，可確保導(dǎo)電樹脂的導(dǎo)通，且可使電阻值變得穩(wěn)定。

傳統(tǒng)地，如前面提到的，單獨(dú)地進(jìn)行通過將相對高的DC電壓施加于導(dǎo)電樹脂而造成介電擊穿的步驟以及通過AC電壓測量壓電本體電容的步驟。因此，檢查壓電本體的操作花費(fèi)很長時(shí)間和很多勞力。

發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是提供一種處理設(shè)備和方法，它能在檢查壓電本體時(shí)有效地執(zhí)行使導(dǎo)電樹脂介電擊穿的步驟和測量盤驅(qū)動(dòng)器懸架的壓電本體中的電容的步驟。

壓電致動(dòng)器包括：設(shè)置在第一電極和第二電極之間的壓電本體；以及附連于第一電極并包含摻雜有金屬填充物的基質(zhì)樹脂的導(dǎo)電樹脂；通過導(dǎo)電樹脂可對第一電極導(dǎo)電的第一導(dǎo)電部分；以及對第一導(dǎo)電部分絕緣并可對第二電極導(dǎo)電的第二導(dǎo)電部分。

用于處理壓電致動(dòng)器的處理設(shè)備包括：通過測量探頭連接于第一導(dǎo)電部分和第二導(dǎo)電部分的電路；施加AC波形電壓的AC電壓源，所述AC波形電壓是通過測量探頭在第一導(dǎo)電部分和第二導(dǎo)電部分之間將偏置電壓加上用于電容測量的AC電壓而獲得的；涌入電流生成裝置，用于在施加AC波形電壓的一瞬間，基于偏置電壓的電位差通過電路中產(chǎn)生的涌入電流使導(dǎo)電樹脂介電擊穿由此確保傳導(dǎo)性；判斷裝置，用于在確保導(dǎo)電樹脂導(dǎo)通的情況下通過AC波形電壓測量壓電本體的電容，并基于測得的電容判斷壓電本體是否正常；以及顯示判斷結(jié)果的顯示裝置。

用于處理壓電致動(dòng)器的處理方法包括：步驟(ST1)，通過使測量探頭接觸第一導(dǎo)電部分和第二導(dǎo)電部分而形成電路；以及步驟(ST2)，向電路施加AC波形電壓，所述AC波形電壓是通過將偏置電壓加上用于電容測量的AC電壓而獲得的；步驟(ST3)，在施加AC波形電壓的瞬間，基于偏置電壓的電位差，通過電路中產(chǎn)生的涌入電流使導(dǎo)電樹脂介電擊穿，由此確保導(dǎo)通；步驟(ST4)，在產(chǎn)生涌入電流后確保導(dǎo)電樹脂導(dǎo)通的情況下，通過AC波形電壓測量壓電本體的電容；步驟(ST5)，基于測得的電容判斷壓電本體是否正常；以及步驟(ST6)，顯示判斷結(jié)果。

根據(jù)上述的處理設(shè)備和方法，在檢查壓電本體時(shí)，能有效地在短時(shí)間內(nèi)執(zhí)行使壓電致動(dòng)器中的導(dǎo)電樹脂的電阻值穩(wěn)定的步驟和測量含壓電致動(dòng)器的盤驅(qū)動(dòng)器懸架的壓電本體的電容的步驟。

將在下面的說明中闡明本發(fā)明的附加目的和優(yōu)點(diǎn)，其一部分將從說明書中變得明確，或可通過本發(fā)明的實(shí)踐獲知。可通過下文中特別指出的手法和組合來實(shí)現(xiàn)和獲得本發(fā)明的目的和優(yōu)點(diǎn)。

附圖說明

包含于此并構(gòu)成說明書一部分的附圖示出本發(fā)明的實(shí)施例，并與前面給出的一般說明和下面給出的詳細(xì)實(shí)施例說明一起用來解釋本發(fā)明的原理。

圖1是示出具有壓電致動(dòng)器的盤驅(qū)動(dòng)器懸架的一個(gè)例子的平面圖；