[發(fā)明專利]制膜裝置及制膜方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010165195.7
• 申請日: 2010-04-20
• 公開（公告）號: CN101862724A
• 公開（公告）日: 2010-10-20
• 發(fā)明（設計）人: 春日治
• 申請（專利權(quán)）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: B05C5/00
• 分類號: B05C5/00;B05C11/10;B05B13/02
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 陳海紅;段承恩

技術領域

本發(fā)明涉及制膜裝置及制膜方法。

背景技術

以往，作為在基板上形成濾色器等功能性薄膜的方法，一般使用旋涂法或柔版(flexo)印刷法。對此近年來，作為在墨使用量減少及工序數(shù)減少的方面是有效的方法，液滴排出法正逐漸用于各種的薄膜形成中。在使用液滴排出法的薄膜形成方法中，把使功能性材料(固體成分)溶解或者分散在溶劑(分散介質(zhì))中的墨(液狀體)作為液滴向基板上排出，在配置到所需位置上之后，通過使該配置了的墨干燥，去除墨中的溶劑(分散介質(zhì))，來形成由功能性材料形成的薄膜。

可是，工業(yè)上形成的濾色器及布線等功能性薄膜近年來有越發(fā)精細化、微細化的趨勢，從而，當采用液滴排出法來形成這些功能性薄膜時，一直要求更高的排出精度。在這種背景之下，近年來通過將用來進行液滴排出的排出頭收置于腔室內(nèi)，控制排出頭的環(huán)境，來謀求排出精度的提高(例如，參見專利文獻1、專利文獻2)。

另外，就這樣將排出頭收置到腔室內(nèi)的制膜裝置而言有時產(chǎn)生下述等的問題，即因為其狀態(tài)為排出頭的噴嘴面曝露在腔室內(nèi)的氣氛中，所以例如在該噴嘴面所設置的多個噴嘴之中的不執(zhí)行排出工作的噴嘴中，因墨的干燥不斷發(fā)展、粘度增加等，而在墨的排出量上發(fā)生不均勻、招致墨滴中精度下降等的問題。

因此，在這種制膜裝置中，為了維持或者恢復從噴嘴排出的液滴良好的排出狀態(tài)，要定期執(zhí)行維護處理。具體而言，實施下述沖洗工作、吸引工作及擦拭工作等，該沖洗工作使得從各噴嘴排出墨以便墨的粘度增加不發(fā)展，該吸引工作通過在噴嘴面上附著覆蓋(加蓋)罩蓋，通過該罩蓋進行吸引，來去除噴嘴內(nèi)粘度增加后的墨、去除內(nèi)腔(cavity)內(nèi)的氣泡，該擦拭工作通過用擦拭部件擦拭噴嘴面來去除噴嘴面上所附著的附著物。另外，這種維護處理通常在不同于下述描繪區(qū)域所設置的維護區(qū)域上進行，該描繪區(qū)域是向基板排出墨(功能液)進行制膜所用的區(qū)域。

專利文獻1：特開2004-167431號公報

專利文獻2：特開2005-146768號公報

但是，就上述的制膜裝置而言，存在下述應當改進的問題。

制膜裝置所使用的排出頭和具備下述電子電路的控制裝置全都在工作中引起自發(fā)熱，上述電子電路用來對排出頭施加電信號(驅(qū)動信號)。控制裝置因為通常配置于排出頭的附近，所以排出頭因自身的發(fā)熱和控制裝置的發(fā)熱而使其溫度變得比周圍的溫度(氣氛溫度)高，該排出頭附近的部件的溫度也變得比周圍的溫度高。

然而，排出頭因為作為其驅(qū)動元件的壓電元件(例如壓敏(piezo)元件)具有溫度特性，Vh移位特性等伴隨溫度變化產(chǎn)生變動，所以因周圍的溫度變化，導致排出量發(fā)生變動。另外，因為排出頭內(nèi)的墨也因溫度的不同使得粘度發(fā)生變動，所以由此也導致排出量發(fā)生變動。從而，該排出頭若在描繪區(qū)域進行排出(描繪)之后，為了進行維護移動到了維護區(qū)域，則有時因為沒有自身的發(fā)熱、控制裝置的發(fā)熱等，所以自身的溫度下降，當此后返回描繪區(qū)域進行排出(描繪)時，在排出初期和此后的期間會發(fā)生排出不均勻。

也就是說，由于當使得排出頭向維護區(qū)域移動進行維護時，例如在對噴嘴面進行加蓋、執(zhí)行了吸引工作時，使排出頭的驅(qū)動元件的驅(qū)動停止等，因而排出頭的發(fā)熱停止，自身的溫度下降。從而，若隨后使該排出頭再次移動到描繪區(qū)域、立刻令其進行排出(描繪)，則直到溫度下降了的排出頭再次升溫到合適的溫度為止的期間，如上所述發(fā)生排出不均勻。

因此，可以考慮在維護后，當再次使之移動到描繪區(qū)域時，不立刻令其進行排出(描繪)，而等待排出頭升溫到描繪區(qū)域的氣氛溫度為止，隨后令其進行排出(描繪)。但是，那種情況下，產(chǎn)生因等待時間的不同而有損生產(chǎn)性之類的新問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是鑒于上述情況而做出的，其目的在于提供制膜裝置及制膜方法，不招致由等待時間導致的生產(chǎn)性下降，防止了因排出頭的溫度變化引起的排出不均勻。

本發(fā)明的制膜裝置其特征為，具備：載物臺，載置基板；排出頭，具有設置有多個噴嘴的噴嘴面，從該噴嘴面的各噴嘴排出功能液的液滴；維護裝置，實施上述排出頭的維護；以及腔室，收置上述載物臺、上述排出頭和上述維護裝置；

在上述腔室內(nèi)，設置配置上述載物臺的描繪區(qū)域和配置上述維護裝置的維護區(qū)域，且在上述描繪區(qū)域和上述維護區(qū)域之間設置有使上述排出頭移動的輸送裝置，

在上述腔室中設有溫度調(diào)整機構(gòu)，以下述方式至少調(diào)整通過上述輸送裝置使上述排出頭位于上述維護區(qū)域的期間的上述維護區(qū)域的溫度，該方式為，使得該溫度對于通過上述輸送裝置使上述排出頭位于上述描繪區(qū)域的期間的上述描繪區(qū)域的溫度，相同或者較高。