[發明專利]制膜裝置及制膜方法

有效

• 申請號: 201010165195.7
• 申請日: 2010-04-20
• 公開（公告）號: CN101862724A
• 公開（公告）日: 2010-10-20
• 發明（設計）人: 春日治
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: B05C5/00
• 分類號: B05C5/00;B05C11/10;B05B13/02
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 陳海紅;段承恩

1.一種制膜裝置，其特征為，

具備：載置基板的載物臺；具有設置有多個噴嘴的噴嘴面，從該噴嘴面的各噴嘴排出功能液的液滴的排出頭；實施上述排出頭的維護的維護裝置；以及收置上述載物臺、上述排出頭和上述維護裝置的腔室；

在上述腔室內，設置有配置有上述載物臺的描繪區域和配置有上述維護裝置的維護區域，且在上述描繪區域與上述維護區域之間設置有使上述排出頭移動的輸送裝置，

在上述腔室中設置有溫度調整機構，該溫度調整機構，至少對于通過上述輸送裝置使上述排出頭位于上述維護區域的期間的上述維護區域的溫度，以使得該溫度相對于通過上述輸送裝置使上述排出頭位于上述描繪區域的期間的上述描繪區域的溫度相同或者較高的方式，進行調整。

2.根據權利要求1所述的制膜裝置，其特征為，

在上述描繪區域與上述維護區域之間，設置有能夠開閉的分隔閘門。

3.根據權利要求1或2所述的制膜裝置，其特征為，

上述溫度調整機構包括設置于上述腔室的空氣調節裝置。

4.根據權利要求1或2所述的制膜裝置，其特征為，

上述溫度調整機構通過將用來控制上述排出頭的驅動的控制裝置配置于上述維護區域來形成。

5.根據權利要求1或2所述的制膜裝置，其特征為，

上述溫度調整機構通過將上述輸送裝置的驅動源配置于上述維護區域來形成。

6.根據權利要求1～5中任一項所述的制膜裝置，其特征為，

上述維護裝置具備加蓋單元，該加蓋單元使得罩蓋附著覆蓋于上述排出頭的噴嘴面。

7.一種制膜方法，其特征為，

使用下述制膜裝置來進行制膜，該制膜裝置中，具備：載置基板的載物臺；具有設置有多個噴嘴的噴嘴面，從該噴嘴面的各噴嘴排出功能液的液滴的排出頭；實施上述排出頭的維護的維護裝置；以及收置上述載物臺、上述排出頭和上述維護裝置的腔室；在上述腔室內，設置有配置有上述載物臺的描繪區域和配置有上述維護裝置的維護區域，且在上述描繪區域與上述維護區域之間設置有使上述排出頭移動的輸送裝置，

在該制膜方法中，在使用上述制膜裝置從上述排出頭向上述基板上排出功能液的液滴而在上述基板上進行制膜時，至少對于通過上述輸送裝置使上述排出頭位于上述維護區域的期間的上述維護區域的溫度，以使得該溫度相對于通過上述輸送裝置使上述排出頭位于上述描繪區域的期間的上述描繪區域的溫度相同或者較高的方式，進行調整。