[發明專利]焊球印刷裝置以及焊球印刷方法

有效

• 申請號: 201010164288.8
• 申請日: 2010-04-14
• 公開（公告）號: CN101879642A
• 公開（公告）日: 2010-11-10
• 發明（設計）人: 五十嵐章雄;向井范昭;本間真;橋本尚明
• 申請（專利權）人: 株式會社日立工業設備技術
• 主分類號: B23K3/06
• 分類號: B23K3/06;H01L21/60
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 11038
• 代理人: 張斯盾

1.一種焊球印刷裝置，是經掩模向基板和上述基板上的電極印刷焊球的焊球印刷裝置，其特征在于，具備：

儲存上述焊球的焊球儲存部、

位于上述焊球儲存部的下方，從上述焊球儲存部接收規定量的焊球，將接收到的上述焊球向位于上述基板上的上述掩模面上供給的焊球送出部、

使上述焊球送出部沿上述基板移動的移動機構部、

向上述焊球送出部施加規定的振動的勵振構件，

上述焊球送出部具有接收來自上述焊球儲存部的焊球的焊球供給部、以包圍上述焊球供給部的焊球送出口的方式安裝并以規定間隔排列了多個線材的凸狀的線材、排列在上述凸狀的線材的前后，用于將上述焊球向上述掩模的開口部填充的焊球填充部件。

2.如權利要求1所述的焊球印刷裝置，其特征在于，

上述焊球送出部還具有焊球旋轉回收機構，所述焊球旋轉回收機構分別位于上述焊球填充部件的前后，將沒有被上述焊球填充部件填充而是分散的焊球收集在上述焊球填充部附近。

3.如權利要求2所述的焊球印刷裝置，其特征在于，

上述焊球送出部以覆蓋上述焊球供給部、上述焊球填充部件以及上述焊球旋轉回收機構的方式設置頭外壁，將上述焊球送出部做成密封型頭構造。

4.如權利要求3所述的焊球印刷裝置，其特征在于，

還在上述頭外壁的內側，以覆蓋上述焊球旋轉回收機構的方式設置涂刷器罩。

5.如權利要求1所述的焊球印刷裝置，其特征在于，

上述移動機構部還具備上下移動焊球送出部的上下驅動機構，由上述上下驅動機構使將設置在焊球送出部的上述凸狀的線材以及上述焊球填充部件向上述掩模面推壓的推壓力發揮作用，使上述凸狀的線材以及上述焊球填充部件相對于焊球送出部的移動方向以規定的推壓力接觸。

6.如權利要求1所述的焊球印刷裝置，其特征在于，構成上述凸狀的線材以及焊球填充部的線材由規定間隔的多個線材構成，該線材由厚度0.05～0.1mm的鋼板以上述線材的寬度為0.1mm，線材間隔為0.1mm～0.3mm來構成，上述線材以相對于與上述焊球送出部的行進方向為直角的方向約5度～35度傾斜地設置。

7.如權利要求6所述的焊球印刷裝置，其特征在于，以設置在上述焊球送出部的多個上述焊球填充部件的線材的傾斜方向互為反方向的方式設置。

8.如權利要求1至7所述的焊球印刷裝置，其特征在于，

還具備固定上述基板的印刷工作臺、用于在上述印刷工作臺上，識別上述基板上的電極圖形和上述掩模的電極圖形的上下雙視野照相機、根據上述雙視野照相機所識別的結果，用于對上述印刷工作臺進行驅動并定位的驅動裝置、為上述基板與上述掩模接觸而使上述印刷工作臺上升的驅動機構。

9.一種焊球印刷方法，在經掩模向基板和上述基板上的電極印刷被保持在焊球儲存部中的焊球的焊球印刷裝置中，其特征在于，具有：

從上述焊球儲存部將規定量的焊球接收到上述焊球儲存部，并將接收到的上述焊球向上述掩模面供給的工序、

將從上述焊球儲存部供給的焊球向上述掩模面的開口部分散的焊球分散工序、

將在上述焊球分散工序中分散的焊球向上述掩模面的開口部填充的焊球填充工序、

對沒有在上述焊球填充工序被填充而是被分散的焊球進行回收的工序。