[發(fā)明專利]濺鍍裝置及濺鍍方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010161107.6
• 申請(qǐng)日: 2010-04-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN102234770A
• 公開(kāi)（公告）日: 2011-11-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王仲培
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 鴻富錦精密工業(yè)（深圳）有限公司;鴻海精密工業(yè)股份有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/34
• 分類號(hào): C23C14/34
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• 代理人: 暫無(wú)信息

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種濺鍍裝置及濺鍍方法，尤其是一種具有雙腔體的濺鍍裝置及濺鍍方法。

背景技術(shù)

目前，在對(duì)塑料或者金屬外殼表面進(jìn)行鍍膜一般都采用物理氣相沉積法(PVD)進(jìn)行鍍膜制程，常見(jiàn)的采用物理氣相沉積法進(jìn)行鍍膜的濺鍍裝置一般都具有單一腔體。

使用具有單一腔體的濺鍍裝置進(jìn)行濺鍍時(shí)，首先打開(kāi)腔體將待鍍工件置于該腔體內(nèi)，然后關(guān)閉腔體閥門并對(duì)該腔體進(jìn)行抽真空，抽完真空后對(duì)放置于該腔體內(nèi)的待鍍工件進(jìn)行加熱，加熱完成后開(kāi)始對(duì)該待鍍工件進(jìn)行濺鍍制程。當(dāng)濺鍍完成后，需要將腔體門打開(kāi)以便將完成鍍膜的待鍍工件拿出，此時(shí)由于腔體門處于開(kāi)啟狀態(tài)，外部空氣就會(huì)進(jìn)入到鍍膜腔體中，這樣設(shè)置于該腔體內(nèi)的靶材就會(huì)很容易被進(jìn)入腔體內(nèi)的氧氣所氧化，從而對(duì)下一次的濺鍍制程產(chǎn)生影響。而且，當(dāng)進(jìn)行下一次濺鍍制程時(shí)，還要再一次進(jìn)行抽真空、加熱待鍍工件等過(guò)程，這樣就會(huì)使得整個(gè)濺鍍制程較為費(fèi)時(shí)，并且影響產(chǎn)品質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，提供一種能夠避免上述情況出現(xiàn)的濺鍍裝置及濺鍍方法實(shí)為必要。

一種濺鍍裝置，其用來(lái)對(duì)待鍍工件鍍膜，該濺鍍裝置具有第一腔體、第二腔體以及傳動(dòng)機(jī)構(gòu)，該第一腔體用來(lái)對(duì)待鍍工件進(jìn)行預(yù)熱，該第二腔體用來(lái)對(duì)待鍍工件進(jìn)行濺鍍，該第一腔體與第二腔體通過(guò)一通道相互連通，在該通道內(nèi)設(shè)置有一閥門用來(lái)控制該通道的開(kāi)啟與關(guān)閉，在該第一腔體及第二腔體內(nèi)分別設(shè)置有相同結(jié)構(gòu)的料桿固定架，該料桿固定架用來(lái)承載裝載有待鍍工件的料桿，該料桿能夠在該傳動(dòng)機(jī)構(gòu)的作用下經(jīng)由該通道在該第一腔體以及第二腔體內(nèi)的料桿固定架之間進(jìn)行傳送。

一種濺鍍方法，其包括如下步驟：提供一個(gè)如上所述的濺鍍裝置；將承載有待鍍工件的料桿裝設(shè)在該第一腔體內(nèi)的料桿固定架上，對(duì)該第一腔體進(jìn)行抽真空；對(duì)第一腔體內(nèi)的待鍍工件進(jìn)行預(yù)熱作業(yè)；將完成預(yù)熱作業(yè)的待鍍工件經(jīng)由該第一腔體與第二腔體之間的通道逐個(gè)傳送到第二腔體內(nèi)并固定到第二腔體內(nèi)的料桿固定架上；關(guān)閉該第一腔體與第二腔體之間的通道，對(duì)第二腔體內(nèi)的待鍍工件進(jìn)行濺鍍作業(yè)；開(kāi)啟該第一腔體與第二腔體之間的通道，將第二腔體內(nèi)完成濺鍍作業(yè)的待鍍工件傳送至第一腔體內(nèi)；關(guān)閉該第一腔體與第二腔體之間的通道以保持該第二腔體內(nèi)的真空狀態(tài)，取走第一腔體內(nèi)完成濺鍍作業(yè)的待鍍工件并放入第二批待鍍工件。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供的該濺鍍裝置通過(guò)設(shè)置兩個(gè)腔體來(lái)分別對(duì)待鍍工件進(jìn)行預(yù)熱作業(yè)及濺鍍作業(yè)，并通過(guò)機(jī)械手在兩個(gè)腔體內(nèi)運(yùn)送待鍍工件，從而避免了濺鍍腔內(nèi)靶材被空氣氧化的缺陷，同時(shí)提高了濺鍍制程的效率。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明實(shí)施例所提供的濺鍍裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，其包括料桿和料桿固定架。

圖2是本發(fā)明實(shí)施例所提供的濺鍍裝置在進(jìn)行料桿運(yùn)輸?shù)臓顟B(tài)示意圖。

圖3是本發(fā)明實(shí)施例所提供的濺鍍裝置在預(yù)熱或者濺鍍過(guò)程中料桿固定架與料桿的轉(zhuǎn)動(dòng)示意圖。

圖4是圖3中IV部分的放大圖。

圖5是圖3中V部分的放大圖。

主要元件符號(hào)說(shuō)明

濺鍍裝置????????????100

第一腔體????????????10

第二腔體????????????20

第一旋轉(zhuǎn)架??????????30

料桿????????????????31

凸桿????????????????311

懸掛架??????????????312

料桿固定架??????????32

上承載盤????????????321

定位槽??????????????3211

下承載盤????????????322

定位座??????????????3221

空心凸柱????????????3222

卡槽????????????????3223

支撐桿??????????????323

第二旋轉(zhuǎn)架??????????40

機(jī)械手??????????????50

通道????????????????60

閥門????????????????61

具體實(shí)施方式

請(qǐng)一并參閱圖1至圖5，本發(fā)明實(shí)施例提供的該濺鍍裝置100，其包括第一腔體10、第二腔體20、第一旋轉(zhuǎn)架30、第二旋轉(zhuǎn)架40及機(jī)械手50。

該第一腔體10用來(lái)對(duì)待鍍工件進(jìn)行預(yù)熱，該第二腔體20用來(lái)對(duì)在該第一腔體10內(nèi)完成預(yù)熱制程的待鍍工件進(jìn)行濺鍍。