[發明專利]濺鍍裝置及濺鍍方法

無效

• 申請號: 201010161107.6
• 申請日: 2010-04-30
• 公開（公告）號: CN102234770A
• 公開（公告）日: 2011-11-09
• 發明（設計）人: 王仲培
• 申請（專利權）人: 鴻富錦精密工業（深圳）有限公司;鴻海精密工業股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種濺鍍裝置，其用來對待鍍工件鍍膜，其特征在于：該濺鍍裝置具有第一腔體、第二腔體以及傳動機構，該第一腔體用來對待鍍工件進行預熱，該第二腔體用來對待鍍工件進行濺鍍，該第一腔體與第二腔體通過一通道相互連通，在該通道內設置有一閥門用來控制該通道的開啟與關閉，在該第一腔體及第二腔體內分別設置有相同結構的料桿固定架，該料桿固定架用來承載裝載有待鍍工件的料桿，該料桿能夠在該傳動機構的作用下經由該通道在該第一腔體以及第二腔體內的料桿固定架之間進行傳送。

2.如權利要求1所述的濺鍍裝置，其特征在于：該料桿具有柱狀桿體，該柱狀桿體的一端呈“T”型，另一端的端部垂直該桿體生長有凸桿，在該料桿的桿體上還設置有懸掛架以用來承載待鍍工件。

3.如權利要求2所述的濺鍍裝置，其特征在于：該料桿固定架包括相對設置的環狀上承載盤及下承載盤，在該上承載盤及下承載盤之間還設置有若干支撐桿以對其進行支撐固定，在該上承載盤的外緣部間隔設置有若干用來固定該料桿的定位槽，該定位槽用來定位該料桿的“T”型端，與該定位槽一一對應的，在該下承載盤上設置有定位座，該定位座包括一個空心凸柱，該空心凸柱用來收容該料桿生長有凸桿的一端，在該空心凸柱的側壁上進一步設置有貫穿該空心凸柱的側壁的卡槽，該卡槽用來配合該料桿端部的凸桿。

4.如權利要求3所述的濺鍍裝置，其特征在于：該料桿固定架以及固定該料桿的定位座分別連接有一個驅動裝置，該料桿固定架在驅動裝置的帶動下能夠發生公轉，該料桿定位座在驅動裝置的帶動下能夠使該料桿發生自轉，該料桿固定架的公轉方向與該料桿的自轉方向相同或者相反。

5.如權利要求1所述的濺鍍裝置，其特征在于：該傳動機構是機械手，該機械手設置在該第一腔體內并位于該料桿固定架的中央。

6.一種濺鍍方法，其包括如下步驟：

提供一個如權利要求1至5任一項所述的濺鍍裝置；

將承載有待鍍工件的料桿裝設在該第一腔體內的料桿固定架上，對該第一腔體進行抽真空；

對第一腔體內的待鍍工件進行預熱作業；

將完成預熱作業的待鍍工件經由該第一腔體與第二腔體之間的通道逐個傳送到第二腔體內并固定到第二腔體內的料桿固定架上；

關閉該第一腔體與第二腔體之間的通道，對第二腔體內的待鍍工件進行濺鍍作業；

開啟該第一腔體與第二腔體之間的通道，將第二腔體內完成濺鍍作業的待鍍工件傳送至第一腔體內；

關閉該第一腔體與第二腔體之間的通道以保持該第二腔體內的真空狀態，取走第一腔體內完成濺鍍作業的待鍍工件并放入第二批待鍍工件。

7.如權利要求6所述的濺鍍方法，其特征在于：在待鍍工件進行預熱作業或者濺鍍作業的過程中，該料桿固定架與該料桿發生轉動，且該料桿固定架的轉動方向與料桿的轉動方向相反。