[發(fā)明專利]一種W-Ti合金靶材的制備方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010159144.3
• 申請(qǐng)日: 2010-04-29
• 公開（公告）號(hào): CN101928850A
• 公開（公告）日: 2010-12-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 梁淑華;王慶相;陳鑫;鄒軍濤;王獻(xiàn)輝
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西安理工大學(xué)
• 主分類號(hào): C22C1/04
• 分類號(hào): C22C1/04;C22C27/04;C23C14/14;B22F3/16
• 代理公司: 西安弘理專利事務(wù)所 61214
• 代理人: 羅笛

1.一種W-Ti合金靶材的制備方法，其特征在于，該方法包括以下操作步驟：

步驟1，粉末的制備

按照W-Ti合金的化學(xué)成分質(zhì)量百分比為W：Ti=70?%-90?%：10?%-30?%的比例分別稱取純度高于99.9%的W粉和純度高于96.7%的TiH₂粉；再將TiH₂粉裝入球磨罐中，添加無水乙醇作為過程控制劑，將球磨罐內(nèi)的空氣排除，然后密封球磨罐進(jìn)行球磨；選用WC球作為研磨球，球料比為30:1～40:1，球磨時(shí)間為36～48?h，球磨罐轉(zhuǎn)速為200r/min；

步驟2，混粉

將球磨好的TiH₂粉末與W粉進(jìn)行混合，混粉時(shí)間為4-10h；

步驟3，壓坯

將混合好的粉末裝入冷等靜壓模具中，采用冷等靜壓機(jī)壓制坯料，壓力為250-280?MPa，保壓時(shí)間為3-6?min；

步驟4，燒結(jié)?

將壓坯置于高溫真空燒結(jié)爐中，先對(duì)爐內(nèi)抽真空，保證爐體內(nèi)的真空度小于10^-3帕；然后對(duì)爐內(nèi)進(jìn)行加熱，控制加熱速度為10℃/min，當(dāng)爐內(nèi)溫度達(dá)到500-600℃時(shí)，保溫30min；再以10℃/min的加熱速度繼續(xù)升溫，最終燒結(jié)溫度為1200-1300℃，保溫80-120min后，隨爐自然冷卻到室溫；

步驟5，固溶退火?

再將燒結(jié)后的合金進(jìn)行固溶退火，退火溫度為900-1100℃，保溫12-24h，隨后淬火冷卻；?

步驟6，機(jī)加工

最后對(duì)W-Ti合金進(jìn)行機(jī)加工，使之成為W-Ti靶材成品。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種W-Ti合金靶材的制備方法，其特征在于：步驟1中添加的無水乙醇濃度為99.7%，其質(zhì)量為TiH₂粉質(zhì)量的1.5%。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種W-Ti合金靶材的制備方法，其特征在于：步驟1中球磨前TiH₂粉的粒徑為10-30μm；步驟1和步驟2中W粉的粒徑為1-30μm。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種W-Ti合金靶材的制備方法，其特征在于：所述步驟1的球磨過程中，球磨罐外壁始終采用循環(huán)水冷卻。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述制造WTi預(yù)合金粉末的方法，其特征在于：所述步驟1中通過向球磨罐中通入保護(hù)氣體氬氣將罐內(nèi)空氣排除。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述制造WTi預(yù)合金粉末的方法，其特征在于：控制W-Ti合金雜質(zhì)C、N和O的含量不高于1000?ppm。