[發(fā)明專利]一種多晶硅的制備方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010152290.3
• 申請(qǐng)日: 2010-04-22
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101805921A
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-08-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫國(guó)志
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 孫國(guó)志
• 主分類號(hào): C30B28/04
• 分類號(hào): C30B28/04
• 代理公司: 天津市北洋有限責(zé)任專利代理事務(wù)所 12201
• 代理人: 陸藝

1.一種多晶硅的制備方法，其特征是包括如下步驟：

(1)以純度為97-98％的粒徑為100目～1000目的金屬硅粉為原料，通過(guò)磁選機(jī)，進(jìn)行 磁選；

(2)按質(zhì)量比為1000∶3-5的比例，將磁選后的原料和三氯化鋁混勻放置在高溫爐內(nèi)， 在600～800℃，反應(yīng)1.5～2.5小時(shí)，冷卻至常溫；

(3)按照質(zhì)量計(jì)，將100份經(jīng)步驟(2)處理得到的物質(zhì)放入反應(yīng)釜內(nèi)，加入10～20 份的濃鹽酸浸泡攪拌4～6小時(shí)，再加入10～15份的王水浸泡攪拌4～6小時(shí)，除去液體， 向固體中加入10～20份的濃鹽酸，10～15份的氫氟酸和8～12份的質(zhì)量比為1∶0.1～5的 碳酸鹽和無(wú)機(jī)堿的混合物，浸泡攪拌10～12小時(shí)，除去液體，用質(zhì)量濃度為0.3％～0.5％的 甲醇水溶液沖冼固體，將固體干燥；

(4)將經(jīng)步驟(3)處理得到的固體放置在定向結(jié)晶/定向凝固鑄造爐內(nèi)，抽真空并充氮 氣，升溫至1100～1200℃，通入混合氣體，反應(yīng)1～2小時(shí)，制成多晶硅錠，所述混合氣體 的通入量為所述定向結(jié)晶/定向凝固鑄造爐內(nèi)物質(zhì)質(zhì)量的1/4，所述混合氣體是質(zhì)量比為2∶1 的氯化氫氣體和氫氣；所述碳酸鹽為碳酸鈉、碳酸鉀、碳酸鈣、碳酸鎂、碳酸氫鈉或碳酸氫 銨；所述無(wú)機(jī)堿為氫氧化鈉、氫氧化鉀、氫氧化鎂或氫氧化鋁。