[發明專利]光催化微反應器的制備方法

有效

• 申請號: 201010148412.1
• 申請日: 2010-04-16
• 公開（公告）號: CN101804315A
• 公開（公告）日: 2010-08-18
• 發明（設計）人: 尚金堂;陳波寅;徐超;張迪
• 申請（專利權）人: 東南大學
• 主分類號: B01J19/00
• 分類號: B01J19/00;B01J19/12;B01J35/02
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司 32200
• 代理人: 張惠忠

1.一種光催化微反應器的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

第一步，在硅圓片(1)上刻蝕形成特定的硅微流槽圖案，在硅微流槽兩端局部放置 適量的高溫釋氣劑(3)，

第二步，將上述硅圓片(1)與硼硅玻璃圓片(2)在空氣中或者真空中陽極鍵合， 使硅圓片上的上述硅微流槽形成密封腔體(4)，并在空氣中加熱至760℃～900℃，保溫 5～10min，高溫釋氣劑因受熱釋放出氣體產生正壓力使得密封腔體(4)對應的熔融玻 璃呈圓管形，冷卻形成玻璃微流道(5)，

第三步，在玻璃微流道(5)上制備入口和出口，去除高溫釋氣劑的分解殘留物，

第四步，將光催化劑涂覆于玻璃微流道的內管壁上，形成熱成型玻璃光催化微反應 器，

所述光催化劑為納米二氧化鈦粉末，含銳鈦礦和金紅石的質量百分數分別為80％和 20％，所述光催化劑二氧化鈦涂覆于玻璃微流道的內管壁上的方法為：將二氧化鈦粉末 置于去離子水中，超聲振蕩攪拌形成懸浮液，其中懸浮液中二氧化鈦的質量占懸浮液總 質量的0.05-20％，將懸浮液浸入玻璃微流道，再晾干，然后置于高溫爐內加熱到500℃～ 600℃燒結，從而使得納米二氧化鈦粉末涂覆于管壁上，重復上述過程3-8次，

所述高溫釋氣劑為碳酸鈣粉末。

2.根據權利要求1所述的光催化微反應器的制備方法，其特征在于，所述硼硅玻璃為 Pyrex7740玻璃。

3.根據權利要求1所述的光催化微反應器的制備方法，其特征在于，在第三步后除去襯 底硅，將得到的玻璃微流道(5)與另一玻璃圓片進行鍵合，得到全玻璃流道。

4.根據權利要求1所述的光催化微反應器的制備方法，其特征在于所述硅圓片上硅微流 槽圖案的微加工工藝為濕法腐蝕工藝。

5.根據權利要求1或3所述的光催化微反應器的制備方法，其特征在于所述的硅圓片與硼 硅玻璃的鍵合工藝為陽極鍵合，工藝條件為：溫度400℃，電壓：600V。

6.根據權利要求1所述的光催化微反應器的制備方法，其特征在于第一步硅微流槽的深 度為50-100微米。