[發(fā)明專利]深凹曲面上導(dǎo)電網(wǎng)格相對(duì)電阻接觸測(cè)量頭及其測(cè)量方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010144774.3
• 申請(qǐng)日: 2010-04-13
• 公開（公告）號(hào): CN101833038A
• 公開（公告）日: 2010-09-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 馮曉國;高勁松;梁鳳超;趙晶麗
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
• 主分類號(hào): G01R27/02
• 分類號(hào): G01R27/02
• 代理公司: 長春菁華專利商標(biāo)代理事務(wù)所 22210
• 代理人: 王立偉

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及凹曲面上非連續(xù)導(dǎo)電膜層相對(duì)電阻測(cè)量的應(yīng)用，尤其是在凹球形上測(cè)量金屬網(wǎng)柵膜的相對(duì)電阻的測(cè)量工具及測(cè)量方法。

背景技術(shù)

傳統(tǒng)測(cè)試導(dǎo)線電阻的方法是把萬用表撥至電阻檔位、用兩支表筆分別接觸導(dǎo)線兩端測(cè)得電阻值，連續(xù)薄膜電阻則多采用四探針法來測(cè)量其面電阻。也有人根據(jù)方塊電阻的定義，將兩條銅箔平行放置在導(dǎo)電膜上，中間形成一個(gè)方形區(qū)域，用萬用表測(cè)量兩條銅箔間電阻視為所測(cè)膜層的面電阻。目前，國內(nèi)外已出現(xiàn)以感應(yīng)磁流或感應(yīng)電流為原理的非接觸面電阻測(cè)量儀器。

然而，上述方法均不能用在深凹曲面導(dǎo)電網(wǎng)格膜層電阻測(cè)量上。

利用兩條銅箔測(cè)量膜層方塊電阻的辦法不僅要求銅箔與膜層緊密接觸(盡量減小接觸電阻)，而且要求曲面可近似展開成平面。由于深凹曲面空間的限制，非接觸面電阻測(cè)量儀器也不能用于深凹曲面導(dǎo)電網(wǎng)格膜層電阻測(cè)量上。

發(fā)明內(nèi)容

為了初步實(shí)現(xiàn)深凹曲面導(dǎo)電網(wǎng)格膜層的電阻測(cè)量，本申請(qǐng)人提出采用兩個(gè)球形測(cè)頭、配上萬用表，用平面與曲面測(cè)值比對(duì)分析來測(cè)量深凹曲面上導(dǎo)電網(wǎng)格膜層相對(duì)電阻，并設(shè)計(jì)出深凹曲面上導(dǎo)電網(wǎng)格相對(duì)電阻接觸測(cè)量頭。

本發(fā)明的目的是設(shè)計(jì)一個(gè)可隨凹面曲率自動(dòng)微調(diào)接觸面積、可通過連桿，來控制接觸應(yīng)力的電阻測(cè)頭及其測(cè)量方法。

本發(fā)明深凹曲面上導(dǎo)電網(wǎng)格相對(duì)電阻接觸測(cè)量頭，由三個(gè)安裝在卡簧上的球頭電極、通過壓簧調(diào)節(jié)接觸應(yīng)力的滑桿、為電極和滑桿提供支撐和運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向的外套、與外界構(gòu)成絕緣的絕緣柱和與外機(jī)構(gòu)連接的連桿構(gòu)成。

該電阻接觸測(cè)量頭包括電極1、卡簧2、滑桿3、壓簧4、外套5、絕緣柱6、連桿7；

各部件的位置及連接關(guān)系：

電極1安裝在卡簧2上，并且可隨凹面曲率微調(diào)與待測(cè)導(dǎo)電網(wǎng)格接觸面積，支撐卡簧2通過壓簧4調(diào)節(jié)接觸應(yīng)力的滑桿3、外套5為電極1和滑桿3提供支撐和運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向，絕緣柱6支撐壓簧4，由連桿7將電阻接觸測(cè)量頭和與外機(jī)構(gòu)連接。

電極1為球頭，電極1尾端有一個(gè)小孔8可焊接導(dǎo)線，外套5在對(duì)應(yīng)位置有一小孔可引出導(dǎo)線、有一凹槽為走線槽9。

本發(fā)明的有益效果：深凹曲面上導(dǎo)電網(wǎng)格相對(duì)電阻接觸測(cè)量頭為實(shí)現(xiàn)深凹球面上金屬網(wǎng)柵薄膜的相對(duì)電阻測(cè)量提供了可行的工藝裝備，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作便捷，成本低廉，便于推廣。

附圖說明

圖1是深凹曲面上導(dǎo)電網(wǎng)格相對(duì)電阻接觸測(cè)量頭結(jié)構(gòu)剖視圖。其中：電極1、卡簧2、滑桿3、壓簧4、外套5、絕緣柱6、連桿7、小孔8；

圖2是外套仰視圖。其中外套5、小孔8。

圖3是卡簧2的俯(仰)視圖。

具體實(shí)施方式

根據(jù)附圖1加工并組裝接觸測(cè)量頭，通過調(diào)整卡簧2厚度控制電極1扭轉(zhuǎn)角度，通過選擇不同剛度壓簧4控制電極1與導(dǎo)電網(wǎng)格膜層接觸應(yīng)力。

通過外套5為電極1和滑桿3提供運(yùn)動(dòng)導(dǎo)向；絕緣柱6在起絕緣作用的同時(shí)也為壓簧4提供支撐。

采用兩個(gè)球形測(cè)頭、配上萬用表，用平面與曲面測(cè)值比對(duì)分析來測(cè)量深凹曲面上導(dǎo)電網(wǎng)格膜層相對(duì)電阻。

本發(fā)明深凹曲面上導(dǎo)電網(wǎng)格相對(duì)電阻接觸測(cè)量頭的使用方法是：測(cè)量頭做兩套并通過連桿連接成一分規(guī)形式，每次測(cè)量都固定成一個(gè)角度，角度范圍為5-90°，從外套5的走線槽9引出的導(dǎo)線與萬用表筆相連，兩個(gè)測(cè)量頭引出的導(dǎo)線分別連接兩個(gè)表筆。手持連桿，用手施壓使測(cè)頭電極與凹面隨形并與導(dǎo)電網(wǎng)格膜層接觸良好，測(cè)得電阻值，與平面已知電阻膜層比對(duì)測(cè)量可實(shí)現(xiàn)曲面導(dǎo)電網(wǎng)格膜層電阻的相對(duì)測(cè)量。