[發明專利]低壓陶瓷氣體放電管的充氣方法及充氣裝置無效
| 申請號： | 201010143439.1 | 申請日： | 2010-03-04 |
| 公開（公告）號： | CN101794698A | 公開（公告）日： | 2010-08-04 |
| 發明（設計）人： | 李瑾楓;李瑾曉 | 申請（專利權）人： | 無錫市超緣電子有限公司 |
| 主分類號： | H01J9/395 | 分類號： | H01J9/395 |
| 代理公司： | 無錫華源專利事務所 32228 | 代理人： | 聶漢欽 |
| 地址： | 214072 江蘇省無*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 低壓 陶瓷 氣體 放電 充氣 方法 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種低壓陶瓷氣體放電管的充氣方法，其特征在于用兩種不同電離電 位的單種氣體按分子數量比分別充入真空封焊爐的爐膛中混合，混合氣體進入 置于爐膛中的待封焊的放電管內，最后將放電管的電極與陶瓷管密封封焊；所 述兩種不同電離電位的單種氣體為氖氣和氬氣，其中氬氣所占分子數量為 1.0～2.5％；具體步驟如下：
(1)將待加工的陶瓷氣體放電管在真空度為1×10-4p～5×10-4p的真空封 焊爐內逐步升溫至720±2℃，除去瓷管、金屬部件及電子粉三者所吸附的CO2、 N2、NH3等廢氣和水份，恒溫20分鐘，關閉擴散泵閥門，停止對真空封焊爐 抽氣；
(2)打開氖氣管道充氣閥門，讓氖氣緩緩充入真空封焊爐內，當精密壓 力表指示達到按設定的氖氣和氬氣比例計算出的只充入氖氣時的壓力值時，關 閉氖氣管道充氣閥門；
(3)打開氬氣管道充氣閥門，讓氬氣緩緩充入真空封焊爐內，當精密壓 力表指示達到規定值時，關閉氬氣管道充氣閥門；
(4)恒溫20分鐘后升溫，將真空封焊爐加熱至820～840℃，恒溫15±2 分鐘后切斷電源，自然冷卻至200℃以下時取出陶瓷氣體放電管，進入后道工 序。
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