[發明專利]曝光裝置有效
| 申請號： | 201010143056.4 | 申請日： | 2010-03-19 |
| 公開（公告）號： | CN101840160A | 公開（公告）日： | 2010-09-22 |
| 發明（設計）人： | 小池雄輝;岡野達廣;佐藤善彥 | 申請（專利權）人： | 優志旺電機株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 72002 | 代理人： | 龐乃媛 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 曝光 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種曝光裝置，將通過機械手所搬運的工件載置于工件臺，對載置于該工件臺的工件通過掩模來照射光，在上述工件上對形成于上述掩模的圖案進行曝光，其特征在于：
在機械手搬運工件的區域，即從機械手搬運工件的搬運高度至工件臺的表面高度之間的空間，橫穿上述工件臺鋪設有纜線。
2.如權利要求1所述的曝光裝置，其特征在于，從上述纜線在相對該纜線呈正交的方向鋪設有第2纜線。
3.一種曝光裝置，將通過機械手所搬運的工件載置于工件臺，對載置于該工件臺的工件通過掩模來照射光，在上述工件上對形成于上述掩模的圖案進行曝光，其特征在于：
在機械手搬運工件的區域，即從機械手搬運工件的搬運高度至工件臺的表面高度之間的空間，橫穿上述工件臺鋪設有網狀物。
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