[發(fā)明專利]紫外線照射裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201010142699.7 | 申請日： | 2010-03-18 |
| 公開（公告）號： | CN101840855A | 公開（公告）日： | 2010-09-22 |
| 發(fā)明（設計）人： | 久我卓也 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會社迪思科 |
| 主分類號： | H01L21/301 | 分類號： | H01L21/301 |
| 代理公司： | 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127 | 代理人： | 黃綸偉 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 紫外線 照射 裝置 | ||
1.一種紫外線照射裝置，其向在紫外線固化型載帶上貼附著板狀物的板狀物單元照射紫外線，使該紫外線固化型載帶的粘結(jié)劑固化，其中該紫外線固化型載帶的外周部安裝于環(huán)狀框架上，其特征在于，該紫外線照射裝置具有：
匣盒，其能收納多個該板狀物單元；
支撐部，其支撐該板狀物單元；
紫外線照射單元，其從支撐于該支撐部上的該板狀物單元的板狀物貼附面的反面向該板狀物單元的該紫外線固化型載帶照射紫外線；
搬運單元，其將該板狀物單元從該匣盒搬出到該支撐部，并在照射紫外線之后從該支撐部向該匣盒搬入該板狀物單元；
掩模，其具有允許紫外線通過的期望大小的開口部，在該開口部以外的部分遮蔽紫外線；以及
定位單元，其在該板狀物單元與該紫外線照射單元之間選擇性地對該掩模進行定位，
當該掩模被定位于該板狀物單元與該紫外線照射單元之間的時候，該紫外線照射單元經(jīng)由該掩模的該開口部向該紫外線固化型載帶照射紫外線。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的紫外線照射裝置，其特征在于，上述搬運單元兼用作上述定位單元。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的紫外線照射裝置，其特征在于，上述板狀物具有芯片區(qū)域和圍繞該芯片區(qū)域的外周端材區(qū)域，
上述開口部與該芯片區(qū)域?qū)?/p>
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
