[發(fā)明專利]驅動元件、驅動元件陣列模組及其結構

無效

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• 申請日: 2010-04-08
• 公開（公告）號: CN102211752A
• 公開（公告）日: 2011-10-12
• 發(fā)明（設計）人: 黃松輝;藍緯洲;林勝隆
• 申請（專利權）人: 元太科技工業(yè)股份有限公司
• 主分類號: B81B3/00
• 分類號: B81B3/00;G02F1/133
• 代理公司: 北京匯智英財專利代理事務所 11301
• 代理人: 張俊閣

1.一種驅動元件，其特征在于包括：一個第一懸梁臂組、一個第二懸梁臂組及一個導電懸梁臂組，向第一懸梁臂組與第二懸梁臂組之間施加一個電位差或同極性電位，當第一懸梁臂組因為其受電場力大于其本身形變的臨界力時，第一懸梁臂組移動并接觸到該導電懸梁臂組，讓該導電懸梁臂組擁有和第一懸梁臂組一樣的電位；當第一懸梁臂組與第二懸梁臂組之間電場力小于第一懸梁臂組本身形變的臨界力時，第一懸梁臂組回復到原來的形狀。

2.根據權利要求1所述的驅動元件，其特征在于，該第一懸梁臂組包括一個第一懸梁臂及一個第一懸梁臂支撐點，所述第一懸梁臂支撐點位于第一懸梁臂的一端，且該第一懸梁臂支撐點寬于第一懸梁臂；該導電懸梁臂組包括一個導電懸梁臂及一個導電懸梁臂支撐點，所述導電懸梁臂呈彎折狀且延伸于該導電懸梁支撐點，該導電懸梁臂一端朝向第一懸梁臂彎折；該第二懸梁臂組包括第二懸梁臂及分別位于該第二懸梁臂兩端的第二懸梁臂支撐點，且所述第二懸梁臂支撐點寬于第二懸梁臂。

3.根據權利要求2所述的驅動元件，其特征在于，該第一懸梁臂、導電懸梁臂及第二懸梁臂在初始狀態(tài)下皆是懸空的狀態(tài)。

4.根據權利要求2所述的驅動元件，其特征在于，該導電懸梁臂組設于該第一、第二懸梁臂組之間，該第一懸梁臂及第二懸梁臂之間施加一電位差時，第一懸梁臂向第二懸梁臂方向移動并接觸該導電懸梁臂。

5.根據權利要求2所述的驅動元件，其特征在于，該第一懸梁臂組設于該導電懸梁臂組與第二懸梁臂組之間，向該第一懸梁臂組與第二懸梁臂組施加同極性電位時，該第一懸梁臂向遠離第二懸梁臂的方向移動并接觸該導電懸梁臂。

6.一種驅動元件，其特征在于包括：一個第一懸梁臂組、一個第二懸梁臂組及設于第一、第二懸梁臂組之間的一個導電懸梁臂組，當該第一懸梁臂組與該第二懸梁臂組之間具有的電位差小于默認值時，該第一懸梁臂組與該導電懸梁臂組不相接觸，而當該電位差達到該默認值時，該第一懸梁臂組與該導電懸梁臂組相接觸以使該第一懸梁臂組與該導電懸梁臂組具有相同電位。

7.根據權利要求6所述的驅動元件，其特征在于，該第一懸梁臂組包括一個第一懸梁臂及一個第一懸梁臂支撐點，所述第一懸梁臂支撐點位于第一懸梁臂的一端，且該第一懸梁臂支撐點寬于第一懸梁臂；該導電懸梁臂組包括一個導電懸梁臂及一個導電懸梁臂支撐點，所述導電懸梁臂呈彎折狀且延伸于該導電懸梁支撐點，導電懸梁臂一端朝向第一懸梁臂彎折；該第二懸梁臂組包括第二懸梁臂及位于第二懸梁臂兩端的第二懸梁臂支撐點，且該第二懸梁臂支撐點較寬于第二懸梁臂。

8.根據權利要求7所述的驅動元件，其特征在于，該第一懸梁臂、導電懸梁臂及第二懸梁臂在初始狀態(tài)下皆是懸空的狀態(tài)。

9.一種包含如權利要求1所述驅動元件的陣列模組，其特征在于其包括：一個基板、多個所述驅動元件設于該基板上、至少一個掃描線組和至少一個信號線組，所述掃描線組及信號線組與所述多個驅動元件電連接。

10.根據權利要求9所述所述的陣列模組，其特征在于，該每個掃描線組包括多條掃描線，以分別連接位于同一行的多個驅動元件的第二懸梁臂組。

11.根據權利要求9所述所述的陣列模組，其特征在于，該每個信號線組包括多條信號線，以分別連接位于同一列的多個驅動元件的第一懸梁臂組。

12.根據權利要求9所述所述的陣列模組，其特征在于，當連接于每一個驅動元件的掃描線和信號線導通時，該驅動元件的第一懸梁臂及第二懸梁臂之間會形成一個電位差或第一懸梁臂及第二懸梁臂施加有同極性電位。

13.一種包含如權利要求1所述驅動元件的陣列模組的結構，其包括依次形成的一個基板、一個第一金屬層、一個第一絕緣層、一個第二金屬層、一個第二絕緣層、一個犧牲層及一個懸梁臂，其中該第一金屬層、第一絕緣層、第二金屬層、第二絕緣層、犧牲層及懸梁臂形成至少一個驅動元件。

14.根據權利要求13所述的陣列模組的結構，其特征在于，該犧牲層及第二絕緣層上開有接觸孔洞，該懸梁臂通過接觸孔洞與該第二金屬層圖形接觸導通。