[發(fā)明專利]制造具有改進(jìn)抬升的半導(dǎo)體封裝的方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201010141754.0 | 申請日: | 2010-02-04 |
| 公開(公告)號: | CN102148168A | 公開(公告)日: | 2011-08-10 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 駱軍華;龐興收;姚晉鐘 | 申請(專利權(quán))人: | 飛思卡爾半導(dǎo)體公司 |
| 主分類號: | H01L21/50 | 分類號: | H01L21/50;H01L21/56;H01L21/60 |
| 代理公司: | 中原信達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11219 | 代理人: | 李佳;穆德駿 |
| 地址: | 美國得*** | 國省代碼: | 美國;US |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 制造 具有 改進(jìn) 抬升 半導(dǎo)體 封裝 方法 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體封裝,更具體地涉及制造具有改進(jìn)抬升(standoff)的半導(dǎo)體封裝的方法。
背景技術(shù)
半導(dǎo)體管芯包括形成在硅中的集成電路,所述集成電路通常在與其他電子器件或電路連接之前被封裝。這樣的封裝通常必需將管芯附著于引線框架或襯底,然后使用制模化合物將管芯和電氣連接進(jìn)行密封。有多種類型的可用封裝,一些具有延伸出制模化合物側(cè)面的引線,并且其它具有在封裝底表面上的焊點(diǎn)或傳導(dǎo)球的陣列。
期望降低半導(dǎo)體封裝的尺寸和外形。薄器件被稱為低外形封裝。一種已知的低外形封裝被稱為QFN(方形扁平無引線)。在QFN型封裝中,在封裝的側(cè)表面和/或底表面處封裝引線是暴露的,并且引線通常與制模化合物齊平。因而,由于其低的抬升高度,將QFN器件附著到襯底或印刷電路板(PCB)是困難的。抬升高度指的是PCB與半導(dǎo)體器件之間的距離。
圖1示出了一種附著于PCB?12的常規(guī)QFN器件10。可以利用回流焊接工藝將QFN器件10附著到PCB?12。在回流焊接時(shí),QFN器件10通過焊膏附著到PCB?12,并且然后諸如通過用于熔融焊料的回流爐進(jìn)行加熱,從而將器件10和PCB?12連接,更具體地,在焊接接點(diǎn)16處,將器件10暴露引線14與PCB?12上的對應(yīng)連接點(diǎn)相連接。從圖1明顯看出,器件10與PCB?12之間具有非常低的抬升高度。低的抬升高度可以增加由管芯和PCB的熱膨脹系數(shù)(CTE)之間的差所引起的焊接接點(diǎn)16處的應(yīng)力水平,這意味著焊接接點(diǎn)16中的一些可能非常弱。另外,低的抬升高度使得更加難于在器件10與PCB?12之間插入底部填充材料(未示出),因?yàn)樵S多底部填充材料阻止在具有低抬升高度的襯底和器件之間的流動(dòng)。
一種用于增加抬升高度以實(shí)現(xiàn)將更牢固的焊接接點(diǎn)的方法是將焊球附著于器件底面上的暴露引線,例如球柵陣列(BGA)。然而,必需形成BGA就增加了封裝工藝的時(shí)間和耗費(fèi)。而且,在將器件焊接到PCB之前,由于誤操作,焊球有時(shí)會(huì)被移位(dislodge)。因而,在不增加生產(chǎn)成本的情況下增加QFN或類似類型封裝的抬升高度是有利的。
附圖說明
本發(fā)明通過示例闡明,并且不限于附圖,其中相同附圖標(biāo)記表示類似的元素。附圖中的元素是為了清楚簡要而示出的,并且不需要按比例繪出。
圖1為附著于襯底或印刷電路板的常規(guī)QFN器件的放大側(cè)視圖;
圖2為附著于PCB的根據(jù)本發(fā)明方法組裝的QFN器件的放大側(cè)視圖;
圖3為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例組裝QFN器件時(shí)的步驟的圖解;
圖4為根據(jù)圖3所示的步驟組裝的QFN器件的底視平面圖。
圖5A和5B分別為沿著圖4中的A-A和B-B線的模具剖視圖。
圖5C為根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例,附著于并電連接到模具內(nèi)部的襯底的半導(dǎo)體管芯的示意圖。
具體實(shí)施方式
本發(fā)明涉及一種組裝電子器件的全面工藝,其具有改進(jìn)的抬升高度,使得器件與襯底或PCB之間的焊接接點(diǎn)(電氣連接)牢固和可靠。由于一些步驟和材料是公知的,隨后不再對其進(jìn)行詳細(xì)描述,以便不模糊或偏離本發(fā)明的教導(dǎo)。例如,此處所描述的半導(dǎo)體管芯可以是任何的半導(dǎo)體材料或材料的組合,例如砷化鎵、硅鍺、絕緣體上硅(SOI)、硅、單晶硅等及上述材料的組合。
另外,在說明書和權(quán)利要求中的術(shù)語“前部”,“后部”,“頂部”,“底部”,“在......上面”,“在......下面”等,如果有的話,用于描述的目的,不必描述不變的相對位置。可以理解,所使用的術(shù)語在適當(dāng)?shù)那闆r下是可以互換的,使得此處所描述的發(fā)明實(shí)施例在除了那些在此處被描述或者另外示出的方位中能夠?qū)嵤4送猓橇碛幸?guī)定,諸如“第一”和“第二”的術(shù)語被用來任何地區(qū)分上述術(shù)語所描述的元素。因而,這些術(shù)語不必用來指示這些元素的時(shí)間或其他優(yōu)先次序。
此外,使用“一”限定的術(shù)語可以定義為一個(gè)或多于一個(gè)。而且,在權(quán)利要求中使用諸如“至少一個(gè)”和“一個(gè)或多個(gè)”的引用短語不應(yīng)解釋為暗示被不定冠詞“一”引用的另一權(quán)利要求要素將僅包含一個(gè)這樣的元素的發(fā)明的引用權(quán)利要求元素的任何特定的權(quán)利要求限制為包含僅一個(gè)這樣元素的發(fā)明,即便當(dāng)相同的權(quán)利要求包括引用冠詞“一個(gè)或多個(gè)”或者“至少一個(gè)”和不定冠詞“一”或“一個(gè)”時(shí)。對定冠詞的用法是一樣的。
在一個(gè)實(shí)施例中,本發(fā)明提供了一種用于封裝半導(dǎo)體管芯的方法,包括以下步驟:
將管芯的第一側(cè)附著于引線框架標(biāo)記物的第一側(cè),并且將帶附著于引線框架的第二側(cè);
利用導(dǎo)線將與管芯的第一側(cè)相對的管芯的第二側(cè)上的接合焊盤電連接到引線框架的引線;
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





