[發(fā)明專利]一種硅片脫膠機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010139861.X
• 申請日: 2010-04-01
• 公開（公告）號: CN101879756A
• 公開（公告）日: 2010-11-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 徐增宏;王土軍;余城偉
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江硅宏電子科技有限公司
• 主分類號: B28D5/00
• 分類號: B28D5/00
• 代理公司: 杭州天正專利事務(wù)所有限公司 33201
• 代理人: 舒良

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種硅片脫膠機。

背景技術(shù)

在多線切割晶棒生產(chǎn)硅片的過程中，對切割好的硅片傳統(tǒng)采用手工進行脫膠，因脫膠過程中對力度、溫度掌握不均勻，且不穩(wěn)定，易出現(xiàn)硅片崩邊、毛邊、氧化等現(xiàn)象，產(chǎn)生廢片。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供能減少硅片在脫膠過程中產(chǎn)生崩邊、毛邊、氧化現(xiàn)象的一種硅片脫膠機。

本發(fā)明采取的技術(shù)方案是：一種硅片脫膠機，它包括直立軌道、上滑動軌道、下滑動軌道、導(dǎo)向輪、脫膠槽、硅片盒、提升機、加熱管、定滑輪、綱繩和偏心輪及組件，其特征在于上滑動軌道、下滑動軌道通過導(dǎo)向輪活動設(shè)在直立軌道上；定滑輪固定在直立軌道上，提升機通過綱繩和定滑輪與上滑動軌道相連接；硅片盒位于脫膠槽內(nèi)，脫膠槽和硅片盒固定設(shè)置在上滑動軌道上；脫膠槽內(nèi)安裝有加熱管；偏心輪及組件設(shè)置在脫膠槽的下部，與下滑動軌道連接在一起。

采用本發(fā)明，可以通過加熱管保持脫膠槽內(nèi)的水恒溫，而且采用機械化操作方式，控制穩(wěn)定，減少硅片在脫膠過程中產(chǎn)生的崩邊、毛邊、氧化現(xiàn)象，提高成品率。

附圖說明

圖1是本發(fā)明的主視示意圖。

圖2是本發(fā)明的側(cè)視示意圖。

具體實施方式

下面結(jié)合具體的實施例對本發(fā)明作進一步說明。

參照圖1、圖2，該硅片脫膠機，它包括直立軌道3、上滑動軌道6、下滑動軌道14、導(dǎo)向輪7、脫膠槽9、脫膠支架4、分隔板11、硅片盒12、提升機5、加熱管13、定滑輪2、綱繩1和偏心輪及組件8，上滑動軌道6通過導(dǎo)向輪7活動設(shè)在直立軌道3上；定滑輪2固定在直立軌道3上，提升機5通過綱繩1和定滑輪2與上滑動軌道6相連接；硅片盒12位于脫膠槽9內(nèi)，硅片盒12固定設(shè)置在上滑動軌道6上；脫膠槽9內(nèi)安裝有加熱管13；偏心輪及組件8設(shè)置在脫膠槽9的下部，與下滑動軌道14連接在一起。

使用時，啟動提升機5，收緊綱繩1，上滑動軌道6沿直立軌道3上升，將硅片盒12提起即停止提升機，把脫膠支架4連同帶膠的硅片10一同放入硅片盒12里，并采用分隔板11隔開硅片10；然后，啟動提升機，放松綱繩1，把帶膠的硅片10連同硅片盒12一起放入脫膠槽9的水中，浸沒硅片10，開始通過加熱管13對脫膠槽9中的水加熱至60度，然后，擺動偏心輪及組件8，使下滑動軌道14上下運動，從而帶動上滑動軌道6上下運動，使硅片盒12在水中同步上下擺動，但不能使硅片10露出水面，擺動時間保持十分鐘左右，之后，升起硅片盒12，取下脫膠支架4，取出硅片10即可。

按照上述，可以通過加熱管13保持脫膠槽9內(nèi)的水恒溫，而且采用機械化操作方式，控制穩(wěn)定，減少硅片10在脫膠過程中產(chǎn)生的崩邊、毛邊、氧化現(xiàn)象，提高成品率。