[發明專利]一種硅片脫膠機有效
| 申請號： | 201010139861.X | 申請日： | 2010-04-01 |
| 公開（公告）號： | CN101879756A | 公開（公告）日： | 2010-11-10 |
| 發明（設計）人： | 徐增宏;王土軍;余城偉 | 申請（專利權）人： | 浙江硅宏電子科技有限公司 |
| 主分類號： | B28D5/00 | 分類號： | B28D5/00 |
| 代理公司： | 杭州天正專利事務所有限公司 33201 | 代理人： | 舒良 |
| 地址： | 324300 浙江省*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 硅片 脫膠 | ||
【權利要求書】：
1.一種硅片脫膠機，它包括直立軌道、滑動軌道、導向輪、脫膠槽、硅片盒、提升機、加熱管、定滑輪、綱繩和偏心輪及組件，其特征在于滑動軌道通過導向輪活動設在直立軌道上；定滑輪固定在直立軌道上，提升機通過綱繩和定滑輪與滑動軌道相連接；硅片盒位于脫膠槽內，脫膠槽和硅片盒固定設置在滑動軌道上；脫膠槽內安裝有加熱管；偏心輪及組件設置在滑動軌道的下部。
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