[發明專利]掩膜存儲清洗系統

在審

• 申請號: 201010139315.6
• 申請日: 2010-03-30
• 公開（公告）號: CN101825841A
• 公開（公告）日: 2010-09-08
• 發明（設計）人: 楊明生;郭業祥;劉惠森;范繼良;王勇;王曼媛;張華
• 申請（專利權）人: 東莞宏威數碼機械有限公司
• 主分類號: G03F1/00
• 分類號: G03F1/00
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司 44202
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

技術領域

本發明涉及一種掩膜存儲清洗系統，尤其涉及一種能提高半導體行業生產 線上的掩膜傳輸、存儲和清洗的連貫性的掩膜存儲清洗系統。

背景技術

隨著社會的不斷進步，經濟的不斷發展，以及科學技術的不斷提高，使企 業對流水線作業中的各設備之間的工作連貫性和設備的功能集成性均提出新的 要求。這是由于高集成化的設備一方面能節省其對場地的占用以降低場地的使 用費；另一方面使設備內各工序能更有機地連接在一起，從而使各工序之間的 工作更連貫以提高生產效率。同時，高集成化的設備還能克服現有的為實現多 種功能時需要將各個單獨功能的設備進行組裝所引起成本偏高、各單獨設備之 間工作不連貫等問題。因此，高集成化的設備在將來應具有一個良好的發展前 景。相應地，在半導體行業的掩膜生產系統中，亦離不開高集成化的設備對半 導體行業中的掩膜進行存儲和清洗。但是，現有的應用于對半導體行業中的掩 膜進行存儲和清洗卻由組合設備執行，該組合設備存在如下的不足：

目前，現有的用于對掩膜進行存儲和清洗的組合設備是由單獨的存儲裝置、 傳送裝置及清洗裝置組裝而成的。其中，存儲裝置先對其內部的存儲單元定位。 接著，該組合設備中的傳送裝置負責把生產線上掩膜以滾動傳輸方式輸送到存 儲裝置的存儲單元附近，接著由存儲裝置的機械手抓取傳送裝置輸送來的掩膜， 并將該掩膜放置于存儲單元內以存儲。當存儲單元存滿掩膜后，傳送裝置再將 該存儲單元傳輸到清洗裝置附近，再由清洗裝置的機械手抓取該存儲單元并將 存儲單元置于清洗裝置內，并由清洗裝置對存儲單元進行定位固定和清洗。當 清洗完成后，再由傳送裝置將該存儲單元往存儲裝置內輸送，并由存儲裝置對 該存儲單元定位固定，定位固定后的存儲單元內的已清洗的掩膜在存儲裝置的 機械手和傳送裝置作用下，被輸送到下一工序處。

然而，對上述的掩膜進行存儲和清洗是由存儲裝置、清洗裝置及傳送裝置 這三個分開的裝置來執行，且存儲裝置和清洗裝置均需對存儲單元進行定位固 定，這增加定位固定的工序數，并占用更多的定位固定時間，從而降低了掩膜 的存儲和清洗速度。同時，上述的存儲裝置的存儲單元在裝滿了掩膜后還需由 傳送裝置將該存儲單元輸送至清洗裝置內進行清洗，清洗后還需將該存儲單元 輸送到存儲裝置內，這無疑增加了中間傳輸的時間，從而進一步降低了掩膜存 儲和清洗效率。再者，將生產線上掩膜往存儲單元內存儲還涉及到兩種不同的 傳輸方式，即是滾動傳輸方式和機械手的傳輸方式，這使得存儲單元與傳送裝 置的連貫性極差，不利用生產效率的提高。另，具有存儲和清洗功能的組合設 備由于需對存儲裝置和清洗裝置進行單獨的設計和制造，從而增加了組合設備 的成本，并不利于精簡生產線流程。

發明內容

本發明的目的在于提供一種掩膜存儲清洗系統，該掩膜存儲清洗系統能集 存儲和清洗于一體以減少工序數，并能最大限度地提高掩膜傳輸、存儲和清洗 的連貫性，因而能極大限度地提高對半導體生產線上的掩膜的存儲和清洗的效 率以降低掩膜的生產成本。同時，本發明掩膜存儲清洗系統能精簡掩膜生產線 流程。