[發(fā)明專利]掩膜存儲(chǔ)清洗系統(tǒng)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010139315.6
• 申請(qǐng)日: 2010-03-30
• 公開（公告）號(hào): CN101825841A
• 公開（公告）日: 2010-09-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊明生;郭業(yè)祥;劉惠森;范繼良;王勇;王曼媛;張華
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東莞宏威數(shù)碼機(jī)械有限公司
• 主分類號(hào): G03F1/00
• 分類號(hào): G03F1/00
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

1.一種掩膜存儲(chǔ)清洗系統(tǒng)，適用于對(duì)半導(dǎo)體生產(chǎn)線上的掩膜進(jìn)行存儲(chǔ)并清 洗，其特征在于，所述掩膜存儲(chǔ)清洗系統(tǒng)包括：

腔體，所述腔體呈中空結(jié)構(gòu)，所述中空結(jié)構(gòu)形成密封的工作腔，所述腔體 的前端開設(shè)有第一通口，所述腔體的后端開設(shè)有第二通口，且所述腔體還設(shè)置 有對(duì)第一通口密封的第一閘門、對(duì)第二通口密封的第二閘閥；

輸送裝置，所述輸送裝置包括輸送件、傳送件及輸送驅(qū)動(dòng)器，所述輸送件 沿水平方向設(shè)置于所述工作腔內(nèi)并與所述輸送驅(qū)動(dòng)器連接，所述輸送件的后端 與所述腔體的第二通口對(duì)接，所述傳送件的后端與所述輸送件的前端對(duì)接；

裝載盒，所述裝載盒包括呈中空結(jié)構(gòu)的裝載框體，所述裝載框體內(nèi)相對(duì)的 兩側(cè)壁上分別設(shè)置有至少兩個(gè)支撐組，所述支撐組呈等間距的平行分布，所述 支撐組由沿同一水平面設(shè)置的若干支撐件組成，相鄰的支撐組之間形成呈水平 的存儲(chǔ)槽，每個(gè)掩膜插放于一個(gè)存儲(chǔ)槽內(nèi)，所述裝載框體的后端開設(shè)有傳輸口， 所述傳送件沿水平方向收容于所述裝載盒的裝載框體內(nèi)并與所述輸送驅(qū)動(dòng)器連 接；

升降裝置，所述升降裝置包括升降驅(qū)動(dòng)器及升降承載架，所述升降驅(qū)動(dòng)器 安裝于所述腔體外，所述升降驅(qū)動(dòng)器的輸出軸呈密封地穿入所述工作腔內(nèi)并與 所述升降承載架連接，所述裝載盒承載于所述升降承載架上，所述升降驅(qū)動(dòng)器 驅(qū)動(dòng)所述裝載盒在所述工作腔內(nèi)做豎直方向的往返運(yùn)動(dòng)，所述裝載盒的往返運(yùn) 動(dòng)使所述傳輸口在所述腔體內(nèi)形成傳輸對(duì)接區(qū)，所述輸送件的前端與所述傳輸 對(duì)接區(qū)對(duì)接，所述裝載盒的前端朝向所述第一通口；

控制裝置，所述控制裝置包括控制處理器及第一傳感器，所述第一傳感器 安裝于所述腔體上且正對(duì)所述輸送件的前端，所述第一傳感器與所述控制處理 器電連接，所述控制處理器與所述升降驅(qū)動(dòng)器電連接，所述第一傳感器檢測到 所述輸送件的前端具有掩膜并發(fā)送信號(hào)給所述控制處理器，所述控制處理器控 制所述升降驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)所述裝載盒的存儲(chǔ)槽逐一與所述輸送件的前端對(duì)接；

抽真空裝置，所述抽真空裝置與所述腔體連接并為所述工作腔提供真空環(huán) 境；以及

離子清洗器，所述離子清洗器安裝于與裝載盒對(duì)應(yīng)的所述腔體上并與所述 工作腔連通，所述離子清洗器對(duì)工作腔內(nèi)的裝載盒的掩膜進(jìn)行清洗。

2.如權(quán)利要求1所述的掩膜存儲(chǔ)清洗系統(tǒng)，其特征在于：所述傳送件的前 端與所述第一通口對(duì)接，所述控制裝置控制所述升降驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)所述裝載盒沿 垂直于所述傳送件方向做往返的運(yùn)動(dòng)。

3.如權(quán)利要求2所述的掩膜存儲(chǔ)清洗系統(tǒng)，其特征在于：所述控制裝置還 包括與控制處理器電連接的第二傳感器、第三傳感器及止動(dòng)驅(qū)動(dòng)器，所述第二 傳感器設(shè)置于所述腔體上并與所述傳送件的后端正對(duì)，所述第三傳感器設(shè)置于 所述腔體上并與所述傳送件的前端正對(duì)，所述止動(dòng)驅(qū)動(dòng)器安裝于所述腔體外， 且所述止動(dòng)驅(qū)動(dòng)器的止動(dòng)軸呈密封地伸入所述工作腔內(nèi)并與傳送件和輸送件的 對(duì)接處正對(duì)，所述止動(dòng)驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)止動(dòng)軸阻擋或釋放于傳送件和輸送件之間輸 送的掩膜。

4.如權(quán)利要求2或3所述的掩膜存儲(chǔ)清洗系統(tǒng)，其特征在于：所述傳送件 包括傳送輪、安裝軸及安裝支架，所述安裝支架與所述腔體連接，所述安裝軸 與所述安裝支架樞接，所述傳送輪安裝在所述安裝軸上，所述裝載框體的支撐 組沿豎直方向開設(shè)有供所述裝載盒沿所述傳送輪做豎直方向往返運(yùn)動(dòng)的導(dǎo)向 槽。

5.如權(quán)利要求1所述的掩膜存儲(chǔ)清洗系統(tǒng)，其特征在于：所述第一閘門的 對(duì)所述第一通口進(jìn)行密封的表面由內(nèi)至外開設(shè)有呈平行排列的第一凹槽及第二 凹槽，所述第一凹槽和第二凹槽上均設(shè)有密封件。

6.如權(quán)利要求5所述的掩膜存儲(chǔ)清洗存儲(chǔ)系統(tǒng)，其特征在于：所述密封件 包括橡膠圈及屏蔽金屬圈，所述橡膠圈容置于第一凹槽內(nèi)，所述屏蔽金屬圈容 置于第二凹槽內(nèi)。