[發(fā)明專利]基板分類方法

有效

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• 申請日: 2010-03-11
• 公開（公告）號: CN101840845A
• 公開（公告）日: 2010-09-22
• 發(fā)明（設計）人: 長谷川文夫
• 申請（專利權）人: 株式會社IHI
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/677
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 熊志誠

技術領域

本發(fā)明涉及使用例如LCD(液晶)工廠或半導體工廠等的超凈室內設置的基板分類裝置進行的基板分類方法。

背景技術

原來，在制作LCD(液晶)等的基板的場合，是在大型的基板(例如玻璃基板)上形成多個相同的電路圖案后，將該基板切斷并把得到的所需的電路基板送到下一個壓焊工序。

近年來，伴隨著電路圖案的制造工序變得復雜，電路規(guī)模變大，電路不良的發(fā)生率有增加的傾向。這種電路不良的基板被原樣送到下一個壓焊工序的話，壓焊工序就沒用了。于是，為了將損失減少到最小限度，在基板的切斷前進行各電路圖案的功能測試。

并且，通過基于電路圖案的功能測試的結果，根據基板上的不良電路的位置把基板分類，從而進行不良電路的修理，或者在切斷后廢棄包含不良電路的基板。

此外，由于有時也用同一條生產線依次制造多個品種的基板，也需要根據不同的品種對基板進行分類。

在這種分類工序中，如下述專利文獻1(日本特許第3185595號公報)以及專利文獻2(日本特開2001-163416號公報)所述，通過將在盒內以水平重疊收容的狀態(tài)搬送到搬入口的多個基板，用直進式緩沖裝置一片片從盒中取出后按種類(每批)搬送到分類口的盒中來進行基板的分類。

在該分類工序，需要按基板種類數準備分類口。即使在批次的數目少的場合，也需要基板種類數的分類口。

在如上所述現有的分類工序中，在要分類的基板的種類數比分類口數更多時，需要分多次來進行分類工序，從而分類效率低下。

此外，直進式緩沖裝置只能從下面依次將收容在盒內的基板一片片取出，不能改換在搬入口的從盒中搬出基板的順序。因此，在某個分類口的盒裝滿了的時候，有需要搬送到該分類口的基板的話，必須停止基板從搬入口的流動直到該分類口的盒的改換結束。

發(fā)明內容

因此，本發(fā)明就是鑒于上述問題而提出的技術方案，本發(fā)明的目的在于提供一種即使在要分類的基板的種類的數目比分類口的數目更多的場合，也能夠不降低效率地進行分類，并且，即使在某個分類口的盒裝滿了的時候，也不必停止基板從搬入口的流動的基板分類方法。

為了解決上述問題，達到上述目的，本發(fā)明具有以下技術方案的任一個。

方案1

本發(fā)明的基板分類方法所使用的基板分類裝置是，將以水平重疊狀態(tài)收容在搬入盒、至少從一個搬入口搬入的多個種類的多個基板按每個種類進行分類并搬送到與各種類對應的多個分類口，搬出到設置于各分類口的搬出盒中的基板分類裝置，該基板分類裝置具備：設置于搬入口、暫時保持收容在搬入盒中的基板的搬入側緩沖裝置；把保持在搬入側緩沖裝置中的基板一片片搬送到分類口的某一個的搬送裝置；以及設置于各分類口、暫時保持被搬送裝置搬送的基板的搬出側緩沖裝置。在此，搬出側緩沖裝置的至少一臺是可把基板插入到保持基板的多個保持部之中的任意的保持部中，并且，可取出所保持的多個基板之中的任意的基板的隨機存取緩沖裝置。

在本發(fā)明的基板分類方法中，使用上述基板分類裝置，一邊將多種基板保持在隨機存取緩沖裝置中，一邊將基板按每個種類搬出到不同的搬出盒中。

方案2

本發(fā)明的基板分類方法所使用的基板分類裝置是，將以水平沖疊狀態(tài)收容在搬入盒、至少從一個搬入口搬入的多個種類的多個基板按每個種類進行分類并搬送到與各種類對應的多個分類口，搬出到設置于各分類口的搬出盒中的基板分類裝置，該基板分類裝置具備：設置于搬入口、暫時保持收容在搬入盒中的基板的搬入側緩沖裝置；把保持在搬入側緩沖裝置中的基板一片片搬送到分類口的某一個的搬送裝置；以及設置于各分類口、暫時保持被搬送裝置搬送的基板的搬出側緩沖裝置。在此，搬入側緩沖裝置的至少一臺是可把基板插入到保持基板的多個保持部之中的任意的保持部中，并且，可取出所保持的多個基板之中的任意的基板的隨機存取緩沖裝置。在本發(fā)明的基板分類方法中，使用上述基板分類裝置，避開被搬送到上述多個保持部均保持有基板的搬出側緩沖裝置中的基板，優(yōu)先搬送被搬送到上述多個保持部中有空閑的其它搬出側緩沖裝置中的基板。

本發(fā)明的效果如下。

在方案1的本發(fā)明的基板分類方法中，搬出側緩沖裝置的至少一臺是隨機存取緩沖裝置，基板可插入到保持基板的多個保持部之中的任意保持部，并且，可取出所保持的多個基板之中的任意基板。因此，可將多種基板保持在隨機存取緩沖裝置中，然后將基板按每個種類搬出到不同的搬出盒中。