[發明專利]基板分類方法

有效

• 申請號: 201010136206.9
• 申請日: 2010-03-11
• 公開（公告）號: CN101840845A
• 公開（公告）日: 2010-09-22
• 發明（設計）人: 長谷川文夫
• 申請（專利權）人: 株式會社IHI
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L21/677
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司 11243
• 代理人: 熊志誠

1.一種基板分類方法，其特征在于，使用基板分類裝置，該基板分類裝置是將以水平重疊狀態收容在搬入盒中、至少從一個搬入口搬入的多個種類的多個基板按每個種類進行分類，搬送到與各種類對應的多個分類口，并搬出到設置于各分類口的搬出盒中的基板分類裝置，該基板分類裝置具備：

設置于上述搬入口、暫時保持收容在上述搬入盒中的基板的搬入側緩沖裝置；

把保持在上述搬入側緩沖裝置中的基板一片片搬送到上述分類口的某一個的搬送裝置；以及

設置于上述各分類口、暫時保持利用上述搬送裝置搬送的基板的搬出側緩沖裝置；

上述搬出側緩沖裝置之中的至少一臺是可把基板插入到保持基板的多個保持部之中的任意的保持部中，并且，可取出所保持的多個基板之中的任意的基板的隨機存取緩沖裝置；

該基板分類方法使用上述基板分類裝置，將多種基板一邊保持在上述隨機存取緩沖裝置，一邊將基板按每個種類搬出到不同的搬出盒中。

2.根據權利要求1所述的基板分類方法，其特征在于，上述隨機存取緩沖裝置以外的上述搬出側緩沖裝置是直進式緩沖裝置，

從上述隨機存取緩沖裝置即上述搬出側緩沖裝置按基板的種類交換搬出盒，并按每個種類搬出基板。

3.根據權利要求1所述的基板分類方法，其特征在于，包括以下步驟：

(a)將收容了基板的上述搬入盒搬入上述搬入口；

(b)將搬入了上述搬入口的基板全部移送到上述搬入側緩沖裝置；

(c)決定與下一個被搬送的基板的搬送目的地的上述分類口對應的上述搬出側緩沖裝置；

(d)將下一個被搬送的基板從上述搬入側緩沖裝置移送到上述搬送裝置；

(e)判斷由步驟(c)決定的搬送目的地的上述搬出側緩沖裝置是否將基板搬出到上述分類口上的上述搬出盒中；

(f)在由步驟(e)判斷為基板在搬出中的場合，利用上述搬送裝置將基板搬送到作為上述隨機存取緩沖裝置的上述搬出側緩沖裝置中；

(g)在由步驟(e)判斷為基板不在搬出中的場合，利用上述搬送裝置將基板搬送到由步驟(c)決定的搬送目的地的上述搬出側緩沖裝置中；

(h)判斷任一個上述搬出側緩沖裝置是否裝滿；

(i)在由步驟(h)判斷為裝滿的場合，將基板從全部上述搬出側緩沖裝置搬出到各上述分類口上的上述搬出盒中；

(j)在由步驟(h)判斷為未裝滿的場合，對下一個搬送的基板進行從步驟(c)開始的處理。

4.一種基板分類方法，其特征在于，使用基板分類裝置，該基板分類裝置是將以水平重疊狀態收容在搬入盒中、至少從一個搬入口搬入的多個種類的多個基板按每個種類進行分類，并搬送到與各種類對應的多個分類口，搬出到設置于各分類口的搬出盒中的基板分類裝置，該基板分類裝置具備：

設置于上述搬入口、暫時保持收容在上述搬入盒中的基板的搬入側緩沖裝置；

把保持在上述搬入側緩沖裝置中的基板一片片搬送到上述分類口的某一個的搬送裝置；

設置于上述各分類口、暫時保持被上述搬送裝置搬送的基板的搬出側緩沖裝置；

上述搬入側緩沖裝置的至少一臺是可把基板插入到保持基板的多個保持部之中的任意的保持部中，并且，可取出所保持的多個基板之中的任意的基板的隨機存取緩沖裝置；

該基板分類方法使用上述基板分類裝置，避開被搬送到上述多個保持部均保持有基板的搬出側緩沖裝置中的基板，優先搬送被搬送到上述多個保持部中有空閑的其它搬出側緩沖裝置中的基板。

5.根據權利要求4所述的基板分類方法，其特征在于，包括以下步驟：

(a)將收容了基板的上述搬入盒搬入上述搬入口；

(b)將搬入了上述搬入口的基板全部移送到上述搬入側緩沖裝置中；

(c)決定與下一個被搬送的基板的搬送目的地的上述分類口對應的上述搬出側緩沖裝置；

(d)判斷由步驟(c)決定的搬送目的地的上述搬出側緩沖裝置是否將基板搬出到上述分類口上的上述搬出盒中，在判斷為基板在搬出中的場合，返回步驟(c)，對于其它基板，決定與搬送目的地的上述分類口對應的上述搬出側緩沖裝置；

(e)將下一個被搬送的基板從上述搬入側緩沖裝置移送到上述搬送裝置；

(f)用上述搬送裝置將基板搬送到由步驟(c)決定的搬送目的地的上述搬出側緩沖裝置中；

(g)判斷任一個上述搬出側緩沖裝置是否裝滿；

(h)在由步驟(g)判斷為裝滿的場合，將基板從全部的上述搬出側緩沖裝置搬出到各上述分類口上的上述搬出盒中；

(i)在由步驟(g)判斷為未裝滿的場合，對下一個搬送的基板進行從步驟(c)開始的處理。