[發明專利]一種單晶或多晶硅片的酸洗工藝無效
| 申請號： | 201010129782.0 | 申請日： | 2010-03-22 |
| 公開（公告）號： | CN101838851A | 公開（公告）日： | 2010-09-22 |
| 發明（設計）人： | 周建明;嚴郁剛;鄭王海 | 申請（專利權）人： | 浙江明峰電子科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B33/10 | 分類號： | C30B33/10 |
| 代理公司： | 杭州天正專利事務所有限公司 33201 | 代理人： | 舒良 |
| 地址： | 324300 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 多晶 硅片 酸洗 工藝 | ||
【權利要求書】：
1.一種單晶或多晶硅片的酸洗工藝，其特征在于準備一水槽，與廢液處理設備相連，通入清水，使清水保持流動狀態，將經過超聲堿洗后的單晶或多晶硅片完全浸沒并懸浮在水槽中，之后，在水槽中加入氫氟酸并與水混合形成氫氟酸溶液，使氫氟酸溶液與硅片表面充分接觸進行流動式清洗。
2.根據權利要求1所述的所述的一種單晶或多晶硅片的酸洗工藝，其特征在于氫氟酸溶液濃度保持在1～5％之間。
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