[發(fā)明專利]石英玻璃坩堝用塞、石英玻璃坩堝及其操作方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010129009.4
• 申請日: 2010-03-08
• 公開（公告）號: CN101831691A
• 公開（公告）日: 2010-09-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 佐藤賢;大原真美
• 申請（專利權(quán)）人: 日本超精石英株式會社
• 主分類號: C30B15/10
• 分類號: C30B15/10
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 臧建明

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種石英玻璃坩堝、尤其是涉及一種用在制造單晶硅(monocrystalline?silicon)的提拉步驟中的石英玻璃坩堝，本發(fā)明尤其是提供一種在保管和搬送所制造的石英玻璃坩堝的期間避免異物侵入到此坩堝內(nèi)表面的結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)

在制造單晶硅時用來將作為單晶硅的原料的多晶硅熔融的石英玻璃坩堝，通常是在制造后經(jīng)過清洗然后進行檢查，將合格品裝袋出廠。

但是，隨著半導(dǎo)體材料的高純度化，抑制單晶硅的制造過程中的各種污染較為重要，對于石英玻璃坩堝也期望將污染抑制在最小限度。也即是說，在使用石英玻璃坩堝進行單晶提拉時，要細心地注意污染，例如在使用之前用超純水等清洗坩堝內(nèi)部等。為此，重要的是首先在從所制造的坩堝出廠到使用為止的期間就防止坩堝受到污染。

尤其是近年來為了提高單晶硅的制造效率，存在石英玻璃坩堝的尺寸逐漸增大的傾向，這種大直徑的坩堝不容易操作，例如在制造坩堝后的檢查或裝袋等作業(yè)中也容易受到污染。

為了解決所述問題，而期望在清洗石英玻璃坩堝之后以潔凈狀態(tài)機械性地包裝石英玻璃坩堝，作為在潔凈狀態(tài)下自動包裝經(jīng)過清洗的石英玻璃坩堝的裝置，揭示于日本專利特開2000-219207號公報(以下稱作“專利文獻1”)中。

通過使用專利文獻1中所記載的裝置來進行包裝，可以在潔凈狀態(tài)下保管經(jīng)過清洗的石英玻璃坩堝，尤其是可以避免出廠時的污染，但是即便如此也未能達到完全防止坩堝內(nèi)表面受到污染。

也即是說，在石英坩堝的外周面附著有半熔融狀態(tài)的石英原料粉末以及/或者石英片(以下統(tǒng)稱為原料粉末)，此原料粉末在包裝后也容易混入到坩堝內(nèi)側(cè)。此原料粉末例如有時會在包裝環(huán)境下的坩堝搬送期間，從包裝片材(wrapping?sheet)與坩堝端面的空隙移動到坩堝的內(nèi)側(cè)而進入到坩堝內(nèi)部，進而在交付后去除包裝時，無法避免仍然殘留在坩堝的開口部外側(cè)面的石英原料粉末進入到坩堝內(nèi)部等。尤其是由于以往的包裝是薄的塑料片材(vinyl?sheet)，因此塑料與坩堝摩擦?xí)a(chǎn)生石英原料粉末，然后粉末容易通過薄片材與坩堝端面之間而進入到坩堝內(nèi)表面。

另外，將坩堝交付給例如單晶硅制造廠商之后，有時也會在包裝去除的狀態(tài)下進行操作，此時沒有采取避免異物進入到坩堝內(nèi)表面的措施。尤其是在坩堝內(nèi)裝入作為原料的多晶硅后，并不一定會立即開始熔融處理，在裝入著多晶硅的狀態(tài)下進行保管、等待的情況也較多，所以在此期間異物有時會進入到坩堝內(nèi)部而成為阻礙制造單晶硅時的單晶化的主要原因。

如上所述，由于石英玻璃坩堝的內(nèi)表面受到污染的機會很多，所以期待能提供一種用來避免這些污染的方法。

發(fā)明內(nèi)容

因此，本發(fā)明的目的在于，提供一種可以避免所述的坩堝原料粉末侵入到坩堝內(nèi)表面的情況的方法，借此，至坩堝的實際的使用時期為止能夠確實地避免異物侵入到石英玻璃坩堝內(nèi)部，從而可以實現(xiàn)在未被污染的狀態(tài)下操作坩堝。

本發(fā)明的主旨構(gòu)成為如下所述。

(1)一種石英玻璃坩堝用塞，安裝在石英玻璃坩堝的開口部，其特征在于：包含與所述開口部的內(nèi)周端密接的周緣安裝部。

(2)根據(jù)所述(1)記載的石英玻璃坩堝用塞，其特征在于：至少內(nèi)表面的金屬成分的附著量小于等于0.05ng/cm²。

(3)根據(jù)所述(1)或(2)記載的石英玻璃坩堝用塞，其特征在于更包含從所述周緣安裝部向直徑方向外側(cè)延伸的凸緣部(flange)。

(4)根據(jù)所述(1)、(2)或(3)記載的石英玻璃坩堝用塞，其特征在于具有可撓性。

(5)根據(jù)所述(1)至(4)中任一項記載的石英玻璃坩堝用塞，其特征在于具有識別碼。

(6)根據(jù)所述(1)至(5)中任一項記載的石英玻璃坩堝用塞，其特征在于：至少一部分為透明。

(7)一種石英玻璃坩堝，在開口部包含圓盤形的塞，其特征在于：使所述塞的周緣部與所述開口部的內(nèi)周端密接而將所述塞固定。

(8)一種石英玻璃坩堝，在開口部包含圓盤形的塞，其特征在于：使所述塞的周緣部與所述開口部的內(nèi)周端密接，并且使從所述周緣安裝部向直徑方向外側(cè)延伸的凸緣部與所述開口部的周端面密接而將所述塞固定。

(9)一種石英玻璃坩堝的操作方法，其特征在于：當(dāng)制造單晶硅時，在向石英玻璃坩堝內(nèi)裝入多晶硅后、且熔融所述多晶硅之前的等待期間，將根據(jù)所述(1)至(6)中任一項記載的塞安裝在所述石英玻璃坩堝的開口部。

[發(fā)明的效果]