[發(fā)明專利]石英玻璃坩堝用塞、石英玻璃坩堝及其操作方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201010129009.4 | 申請日: | 2010-03-08 |
| 公開(公告)號: | CN101831691A | 公開(公告)日: | 2010-09-15 |
| 發(fā)明(設計)人: | 佐藤賢;大原真美 | 申請(專利權(quán))人: | 日本超精石英株式會社 |
| 主分類號: | C30B15/10 | 分類號: | C30B15/10 |
| 代理公司: | 北京同立鈞成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205 | 代理人: | 臧建明 |
| 地址: | 日本秋田縣秋*** | 國省代碼: | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 石英玻璃 坩堝 及其 操作方法 | ||
1.一種石英玻璃坩堝用塞,安裝在石英玻璃坩堝的開口部,其特征在于:包含與所述開口部的內(nèi)周端密接的周緣安裝部。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英玻璃坩堝用塞,其特征在于:至少內(nèi)表面的金屬成分的附著量小于等于0.05ng/cm2。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的石英玻璃坩堝用塞,其特征在于還包含從所述周緣安裝部向直徑方向外側(cè)延伸的凸緣部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的石英玻璃坩堝用塞,其特征在于具有可撓性。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的石英玻璃坩堝用塞,其特征在于包含識別碼。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的石英玻璃坩堝用塞,其特征在于:至少一部分為透明。
7.一種石英玻璃坩堝,在開口部包含圓盤形的塞,其特征在于:使所述塞的周緣部與所述開口部的內(nèi)周端密接而將所述塞固定。
8.一種石英玻璃坩堝,在開口部包含圓盤形的塞,其特征在于:使所述塞的周緣部與所述開口部的內(nèi)周端密接,并且使從所述周緣安裝部向直徑方向外側(cè)延伸的凸緣部與所述開口部的周端面密接而將所述塞固定。
9.一種石英玻璃坩堝的操作方法,其特征在于:當制造單晶硅時,在向石英玻璃坩堝內(nèi)裝入多晶硅后、且熔融所述多晶硅之前的等待期間,將根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項所述的塞安裝在所述石英玻璃坩堝的開口部。
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