[發(fā)明專利]探針卡、包括探針卡的半導(dǎo)體測(cè)試裝置以及探針卡的熔絲檢查方法

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201010128324.5
• 申請(qǐng)日: 2010-03-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101825651A
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-09-08
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 河野貴之
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 恩益禧電子股份有限公司
• 主分類號(hào): G01R1/067
• 分類號(hào): G01R1/067;G01R31/02
• 代理公司: 中原信達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11219
• 代理人: 孫志湧;穆德駿

相關(guān)引用

本申請(qǐng)基于并且要求2009年3月6日提交的日本專利申請(qǐng)No.2009-053257的優(yōu)先權(quán)，通過(guò)引用將其全部?jī)?nèi)容合并于此。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及探針卡、包括探針卡的半導(dǎo)體測(cè)試裝置以及用于探針卡的熔絲檢查方法。

背景技術(shù)

近年來(lái)，對(duì)于形成在晶片上的半導(dǎo)體集成電路的電氣特性已經(jīng)普遍進(jìn)行測(cè)試。通過(guò)把被稱為探針卡的測(cè)試夾具安裝在半導(dǎo)體測(cè)試裝置中的方式來(lái)執(zhí)行這種測(cè)試。首先，半導(dǎo)體測(cè)試裝置使被提供在探針卡上的探針接觸半導(dǎo)體集成電路的電極。然后半導(dǎo)體測(cè)試裝置將測(cè)試信號(hào)施加給半導(dǎo)體集成電路。然后，半導(dǎo)體集成電路將來(lái)自于半導(dǎo)體集成電路的輸出信號(hào)與期望值進(jìn)行比較。因此，半導(dǎo)體測(cè)試裝置檢查是否存在半導(dǎo)體集成電路的電氣特性問(wèn)題。在這樣的情況下，對(duì)半導(dǎo)體測(cè)試裝置來(lái)說(shuō)必須將穩(wěn)定的電源電壓提供給半導(dǎo)體集成電路。然后，在現(xiàn)有技術(shù)的半導(dǎo)體測(cè)試裝置中，出現(xiàn)下述問(wèn)題，具有等于或者大于預(yù)定的電流值(即，過(guò)電流)流到探針時(shí)，探針被損壞(例如，針被燒壞或者針被熔斷)。這引起產(chǎn)品檢查的可靠性的劣化。

在日本未經(jīng)審查的專利申請(qǐng)公開(kāi)No.2002-124552中公布解決此問(wèn)題的對(duì)策。圖3示出在日本未經(jīng)審查的專利申請(qǐng)公開(kāi)No.2002-124552中公開(kāi)的半導(dǎo)體測(cè)試裝置。圖3中所示的電路包括繼電器1、熔絲2、探針3、被測(cè)單元4、地(接地電壓端子)5、以及測(cè)量裝置10。測(cè)量裝置10通過(guò)繼電器1和熔絲2將電流施加給被測(cè)單元4。在此描述在測(cè)量裝置10和熔絲2相互連接在一起的狀態(tài)下過(guò)電流在測(cè)量裝置10和被測(cè)單元4之間流動(dòng)的情況。在這樣的情況下，當(dāng)流到熔絲2的電流超過(guò)預(yù)定的電流值時(shí)，熔絲2被熔斷。因此，在測(cè)量裝置10和被測(cè)單元4之間沒(méi)有電流流動(dòng)。即，也沒(méi)有電流流到探針3。例如，進(jìn)行構(gòu)造使得在流到探針3的電流到達(dá)探針3被損壞時(shí)的電流值之前熔絲2被熔斷。例如，這防止了探針3由于過(guò)電流被損壞。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明人已經(jīng)發(fā)現(xiàn)如下所述的問(wèn)題。在圖3中所示的電路中，熔絲2中的每一個(gè)被串聯(lián)地連接在測(cè)量裝置10和每個(gè)被測(cè)單元4之間。因此，由于熔絲2中的每一個(gè)的電阻分量而導(dǎo)致的電壓降影響被施加給每個(gè)探針3的電源電壓。因此，對(duì)圖3中所示的電路來(lái)說(shuō)不能夠?qū)㈦娫措妷焊呖煽啃缘貜臏y(cè)量裝置10提供給半導(dǎo)體集成電路。這可能引起產(chǎn)品檢查的可靠性的劣化。

如上所述，根據(jù)現(xiàn)有技術(shù)的探針卡具有下述問(wèn)題，即，在使用熔絲來(lái)防止過(guò)電流的等等的情況下，不能夠高可靠性地執(zhí)行產(chǎn)品檢查。

本發(fā)明的第一示例性方面是一種探針卡，該探針卡包括：(與根據(jù)本發(fā)明的第一示例性實(shí)施例的驅(qū)動(dòng)端子105相對(duì)應(yīng)的)第一電源電極，其被提供有第一電源電壓；探針，該探針將與第一電源電壓相對(duì)應(yīng)的電壓提供給要被測(cè)試的半導(dǎo)體集成電路；第一信號(hào)線，該第一信號(hào)線連接第一電源電極和探針；熔絲，該熔絲被串聯(lián)地連接在第一信號(hào)線上；以及熔絲檢查電路，該熔絲檢查電路將不同于第一電源電壓的電壓提供給位于探針與熔絲的一端之間的第一信號(hào)線上的(與根據(jù)本發(fā)明的第一示例性實(shí)施例的結(jié)點(diǎn)119相對(duì)應(yīng)的)第一結(jié)點(diǎn)。

上述電路構(gòu)造使能夠在產(chǎn)品檢查之前檢查熔絲的連接狀態(tài)。因此，能夠高可靠性地執(zhí)行產(chǎn)品檢查。

本發(fā)明的第二示例性方面是用于探針卡的熔絲檢查方法，該探針卡包括：(與根據(jù)本發(fā)明的第一示例性實(shí)施例的驅(qū)動(dòng)端子105相對(duì)應(yīng)的)第一電源電極，其被提供有第一電源電壓；探針，該探針將與第一電源電壓相對(duì)應(yīng)的電壓提供給要被測(cè)試的半導(dǎo)體集成電路；第一信號(hào)線，該第一信號(hào)線連接第一電源電極和探針；熔絲，該熔絲被串聯(lián)地連接在第一信號(hào)線上；以及熔絲檢查電路，該熔絲檢查電路將不同于第一電源電壓的電壓提供給位于探針與熔絲的一端之間的第一信號(hào)線上的(與根據(jù)本發(fā)明的第一示例性實(shí)施例的結(jié)點(diǎn)119相對(duì)應(yīng)的)第一結(jié)點(diǎn)；該熔絲檢查方法包括：施加來(lái)自于第一電源電極的第一電源電壓；通過(guò)導(dǎo)通被提供在熔絲檢查電路中的開(kāi)關(guān)元件，將不同于第一電源電壓的電壓提供給第一結(jié)點(diǎn)；以及當(dāng)與熔絲的兩個(gè)端子之間的電勢(shì)差相對(duì)應(yīng)的電流流到第一電源電極時(shí)，檢測(cè)熔絲的連接狀態(tài)，并且當(dāng)與熔絲的兩個(gè)端子之間的電勢(shì)差相對(duì)應(yīng)的電流流到第一電源電極時(shí)，檢測(cè)熔絲的熔斷狀態(tài)。注意的是，根據(jù)本發(fā)明的示例性方面的半導(dǎo)體測(cè)試裝置具有用于測(cè)量第一電源電極的電流值的功能(未示出)。

用于探針卡的上述熔絲檢查方法能夠在產(chǎn)品檢查之前檢查熔絲的連接狀態(tài)。因此，能夠高可靠性地執(zhí)行產(chǎn)品檢查。

根據(jù)本發(fā)明的示例性方面，能夠提供能夠高可靠性地執(zhí)行產(chǎn)品檢查的探針卡和熔絲檢查方法。

附圖說(shuō)明