[發(fā)明專利]探針卡、包括探針卡的半導體測試裝置以及探針卡的熔絲檢查方法

無效

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• 申請日: 2010-03-03
• 公開（公告）號: CN101825651A
• 公開（公告）日: 2010-09-08
• 發(fā)明（設計）人: 河野貴之
• 申請（專利權）人: 恩益禧電子股份有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067;G01R31/02
• 代理公司: 中原信達知識產(chǎn)權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 孫志湧;穆德駿

1.一種探針卡，包括：

第一電源電極，所述第一電源電極被提供有第一電源電壓；

探針，所述探針將與所述第一電源電壓相對應的電壓提供給要被測試的半導體集成電路；

第一信號線，所述第一信號線連接所述第一電源電極和所述探針；

熔絲，所述熔絲被串聯(lián)地連接在所述第一信號線上；以及

熔絲檢查電路，所述熔絲檢查電路將不同于所述第一電源電壓的電壓提供給位于在所述探針與所述熔絲的一端之間的所述第一信號線上的第一結點。

2.根據(jù)權利要求1所述的探針卡，其中，

所述熔絲檢查電路包括開關元件，所述開關元件通過電阻器被串聯(lián)地連接在第二電源電極和所述第一結點之間，所述第二電源電極被提供有不同于所述第一電源電壓的第二電源電壓。

3.根據(jù)權利要求2所述的探針卡，其中，

控制所述開關元件以使其在用于測試所述半導體集成電路的模式和用于檢查所述熔絲的連接狀態(tài)的模式之間導通和截止。

4.根據(jù)權利要求3所述的探針卡，其中，

通過在用于檢查所述熔絲的連接狀態(tài)的所述模式中導通所述開關元件，所述熔絲檢查電路將不同于所述第一電源電壓的電壓提供給所述第一結點。

5.根據(jù)權利要求1所述的探針卡，進一步包括：

第三電源電極，所述第三電源電極提供第三電源電壓；和

第二信號線，所述第二信號線連接所述第三電源電極和位于所述第一信號線上的第二結點，

其中，基于設定電壓和所述第二信號線上的電壓之間的電勢差，控制被提供給所述第一信號線的所述第一電源電壓。

6.根據(jù)權利要求5所述的探針卡，其中，

所述第二結點位于在所述探針和所述熔絲的一端之間的所述第一信號線上。

7.根據(jù)權利要求1所述的探針卡，其中，

在流到所述探針的電流達到在所述探針被損壞時的電流值之前，所述熔絲被熔斷。

8.一種半導體測試裝置，包括權利要求1中所述的探針卡。

9.一種用于探針卡的熔絲檢查方法，所述探針卡包括：第一電源電極，所述第一電源電極被提供有第一電源電壓；探針，所述探針將與所述第一電源電壓相對應的電壓提供給要被測試的半導體集成電路；第一信號線，所述第一信號線連接所述第一電源電極和所述探針；熔絲，所述熔絲被串聯(lián)地連接在所述第一信號線上；以及熔絲檢查電路，所述熔絲檢查電路將不同于所述第一電源電壓的電壓提供給位于在所述探針與所述熔絲的一端之間的所述第一信號線上的第一結點，所述熔絲檢查方法包括：

施加來自于所述第一電源電極的所述第一電源電壓；

通過導通被提供在所述熔絲檢查電路中的開關元件，將不同于所述第一電源電壓的電壓提供給所述第一結點；以及

當與所述熔絲的兩個端子之間的電勢差相對應的電流流到所述第一電源電極時，檢測熔絲的連接狀態(tài)，并且，當與所述熔絲的兩個端子之間的電勢差相對應的電流沒有流到所述第一電源電極時，檢測熔絲的熔斷狀態(tài)。