[發明專利]帶有清潔機構的標記裝置及其清潔方法

無效

• 申請號: 201010126403.2
• 申請日: 2010-02-20
• 公開（公告）號: CN101807516A
• 公開（公告）日: 2010-08-18
• 發明（設計）人: 佐佐木唯史;麻生誠;巖佐信一
• 申請（專利權）人: 精工電子有限公司
• 主分類號: H01L21/00
• 分類號: H01L21/00;H01L23/544
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 嚴志軍;楊楷

1.一種帶有清潔機構的標記裝置，為在半導體晶片的特定位置進行標記的標記裝置，

具有清潔裝置，該清潔裝置由送風管、安裝在所述送風管前端的送風杯以及具有配置在所述送風杯的內側的空腔的浮上子構成，清潔附著在墨水操縱器前端的中空針的針尖上的墨水污垢，

在所述空腔內清潔所述中空針。

2.根據權利要求1所述的帶有清潔機構的標記裝置，其特征在于，所述空腔為向下變窄的形狀，在所述空腔的內壁具有凹凸。

3.根據權利要求2所述的帶有清潔機構的標記裝置，其特征在于，所述空腔在俯視時為圓形、或者多邊形、或者星形。

4.根據權利要求1所述的帶有清潔機構的標記裝置，其特征在于，所述空腔的內壁具有吸濕性且柔軟。

5.根據權利要求4所述的帶有清潔機構的標記裝置，其特征在于，所述空腔的內壁由紙或海綿狀的氨基甲酸乙酯構成。

6.根據權利要求4所述的帶有清潔機構的標記裝置，其特征在于，所述浮上子的外形為圓柱或圓錐，在所述浮上子的表面施加有螺旋形狀。

7.根據權利要求6所述的帶有清潔機構的標記裝置，其特征在于，所述浮上子可裝卸。

8.一種帶有清潔機構的標記裝置的清潔方法，其特征在于，為用于除去附著在墨水操縱器前端的中空針的針尖上的墨水污垢的標記裝置的清潔方法，使所述中空針與由于送風而進行上下旋轉動作的浮上子內的空腔內壁接觸并除去墨水污垢。