[發明專利]涂布裝置

有效

• 申請號: 201010124625.0
• 申請日: 2010-03-16
• 公開（公告）號: CN101846884A
• 公開（公告）日: 2010-09-29
• 發明（設計）人: 中澤源伸;堀內展雄
• 申請（專利權）人: 東麗工程株式會社
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16
• 代理公司: 北京天悅專利代理事務所(普通合伙) 11311
• 代理人: 田明;任曉航

技術領域

本發明涉及一種將涂布液涂布在基板上的涂布裝置。

背景技術

在液晶顯示器或等離子顯示器等平板顯示器中，使用涂布有抗蝕劑液的玻璃基板(以下也稱之為涂布基板)。而且，所述涂布基板是通過使用將抗蝕劑均勻涂布在玻璃基板上的涂布裝置而制成的。

作為這樣的涂布裝置，下述專利文獻1公開了以下技術方案：上述涂布裝置具有：基板保持盤，保持基板；涂布頭(涂布部)，配置在由基板保持盤保持的基板上方、且從下端部的噴嘴流出抗蝕劑液；相對移動裝置，使涂布頭相對于基板保持盤相對水平地移動；其中，使涂布頭相對于基板保持盤進行相對水平移動的同時，流出涂布液，從而在基板保持盤的基板上涂布抗蝕劑液。

另外，由于基板上表面與涂布頭的噴嘴之間，通常僅有數十μm～百數十μm的間隙，所以如果在基板上存在異物或者在基板保持盤上存在異物而基板浮起來，則存在涂布頭的噴嘴與異物或基板發生碰撞而損傷噴嘴或基板的擔憂。

因此，如圖6所示，專利文獻1的涂布裝置包括：板狀部件(碰撞部)150，其按照在相對于基板保持盤114進行相對移動的方向X1的前方側上與異物P發生碰撞的方式進行設置；振動傳感器151，檢測所述板狀部件150的振動；控制裝置，在振動由振動傳感器151被檢測時，對涂布頭122的相對移動進行強制停止。而且，所述涂布裝置具有下述構成：通過使板狀部件150與基板112上的異物P發生碰撞，并由振動傳感器151檢測出因該碰撞而產生的振動，根據該檢測信號強制停止涂布頭122在X1方向上的移動，由此能夠預防涂布頭122的噴嘴144與異物P發生碰撞的問題。

專利文獻1：特許第3653688號公報

在專利文獻1的涂布裝置中，從振動傳感器151檢測出振動到實際停止涂布頭122的相對移動需要花費時間，因此必須以涂布頭122在該時間內所移動的距離(停止距離)長度來設置涂布頭122的噴嘴144與板狀部件150之間的間隔L。

另一方面，伴隨著近幾年抗蝕劑液等的涂布性能的提高，相對于基板保持盤114的涂布頭122的相對移動速度具有高速化的傾向。因此，也需要加長涂布頭122的停止距離長度，由此需要進一步增加涂布頭122的噴嘴144與板狀部件150之間的間隔L。但是，如果增加涂布頭122與板狀部件150之間的間隔L，則存在裝置大型化的問題。另外，還存在下述問題：在因與異物P發生碰撞以外的原因而涂布頭122以其重心位置為中心產生振動時，距離涂布頭122的中心位置越遠，由該振動而產生的位移就越大，因此如果增加涂布頭122與板狀部件150(振動傳感器151)之間的間隔L，則對與異物P碰撞以外的振動容易錯誤地進行檢測。

發明內容

本發明是為了解決上述問題而作出的，其目的為提供一種在異物檢測部檢測出異物之后，即使在不增加噴嘴到異物等之間距離的情況下，也可以避免噴嘴與異物等之間的碰撞，能夠抑制裝置大型化的涂布裝置。

(1)本發明的涂布裝置，其特征在于，包括：保持臺，在水平面上保持基板；涂布部，包括朝向所述保持臺上的所述基板流出涂布液的噴嘴；行走機構，使所述涂布部相對于所述保持臺在水平方向上行走；升降機構，使所述涂布部在上下方向上升降；異物檢測部，為了在所述基板上涂布，通過所述行走機構使所述涂布部行走時，檢測出位于所述噴嘴的行走方向前方側的異物；退避控制部，當所述異物檢測部檢測出異物時，控制所述升降機構以使所述涂布部朝向上方退避。

本發明的涂布裝置，由于在通過異物檢測部檢測出異物時，升降機構通過退避控制部被控制以使涂布部朝上方退避，因此即使不增加用來適應涂布部行走速度的高速化等而從異物檢測部檢測出異物后噴嘴行走至異物的距離(從異物檢測部到噴嘴之間的距離)，也能夠避免噴嘴與異物等之間的碰撞，從而能夠抑制裝置的大型化。

(2)優選的是，所述異物檢測部被設置在所述涂布部的噴嘴的行走方向前方側，且包括：碰撞部，在所述基板上或所述保持臺上有異物時，能夠與所述異物或者所述基板的表面發生碰撞；碰撞檢測部，檢測出因與所述異物或者所述基板表面發生碰撞而引起的所述碰撞部的高度變化。