[發(fā)明專利]涂布裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010124625.0
• 申請日: 2010-03-16
• 公開（公告）號: CN101846884A
• 公開（公告）日: 2010-09-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 中澤源伸;堀內(nèi)展雄
• 申請（專利權(quán)）人: 東麗工程株式會社
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16
• 代理公司: 北京天悅專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11311
• 代理人: 田明;任曉航

1.一種涂布裝置，其特征在于，包括：

保持臺，在水平面上保持基板；

涂布部，包括朝向所述保持臺上的所述基板流出涂布液的噴嘴；

行走機構(gòu)，使所述涂布部相對于所述保持臺在水平方向上行走；

升降機構(gòu)，使所述涂布部在上下方向上升降；

異物檢測部，在為了在所述基板上涂布涂布液而通過所述行走機構(gòu)使所述涂布部行走時，檢測出位于所述噴嘴的行走方向前方側(cè)的異物；

退避控制部，當所述異物檢測部檢測出異物時，控制所述升降機構(gòu)以使所述涂布部朝向上方退避。

2.如權(quán)利要求1所述的涂布裝置，其特征在于，所述異物檢測部設(shè)置在與所述涂布部的噴嘴相比靠行走方向的前方側(cè)，且包括：碰撞部，在所述基板上或所述保持臺上有異物時，能夠與所述異物或者所述基板的表面發(fā)生碰撞；碰撞檢測部，檢測出因與所述異物或者所述基板表面相碰撞而引起的所述碰撞部的高度變化。

3.如權(quán)利要求2所述的涂布裝置，其特征在于，所述碰撞部與所述涂布部設(shè)置成一體，以使所述碰撞部能夠與所述涂布部一起升降，

所述涂布裝置還包括：高度檢測部，檢測所述涂布部的高度；升降控制部，根據(jù)所述高度檢測部的檢測結(jié)果將所述涂布部的高度控制到規(guī)定高度，

所述高度檢測部兼作所述碰撞檢測部。

4.如權(quán)利要求2或3所述的涂布裝置，其特征在于，在所述碰撞部的行走方向的前方側(cè)的下部，形成有以越靠所述行走方向的前方側(cè)其高度越高的方式傾斜的傾斜面。