[發明專利]光電倍增管

有效

• 申請號: 201010123812.7
• 申請日: 2010-02-25
• 公開（公告）號: CN101814413A
• 公開（公告）日: 2010-08-25
• 發明（設計）人: 杉山浩之;下井英樹;小玉剛史;木下仁志;河野泰行;井上圭祐
• 申請（專利權）人: 浜松光子學株式會社
• 主分類號: H01J43/04
• 分類號: H01J43/04;H01J43/18
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳

1.一種光電倍增管，其特征在于，

具備：

箱體，具有形成有由絕緣材料構成的平面的、且具有一端以及所述一端的 相反側的另一端的基板；

第1級～第N級電子倍增部，從所述基板的所述平面上的一端側向另一端 側依次間隔地排列，將電子從向所述一端側朝向所述另一端側倍增，其中N為 2以上的整數；

光電面，所述光電面被配置于所述一端側且與所述電子倍增部相間隔，將 來自外部的入射光變換為光電子并釋放所述光電子；以及

陽極部，所述陽極部被配置于所述另一端側且與所述電子倍增部相間隔， 將被所述電子倍增部倍增的電子作為信號取出，

在所述基板的所述平面上，在鄰接的2個所述電子倍增部之間，形成有表 面由絕緣材料構成的溝槽部，

所述第1級～第N級電子倍增部被固定在與所述基板的所述溝槽部鄰接的 凸部上。

2.如權利要求1所述的光電倍增管，其特征在于，

所述溝槽部被形成為橫跨從第K-1級電子倍增部的所述另一端側的邊緣部 到第K級電子倍增部的所述一端側的邊緣部所夾持的范圍，其中K為2以上N 以下的整數。

3.如權利要求2所述的光電倍增管，其特征在于，

所述溝槽部被形成為：相比所述第K級電子倍增部的所述一端側的邊緣 部，更向所述第K級電子倍增部的所述另一端側擴展。

4.如權利要求2或者3所述的光電倍增管，其特征在于，

所述溝槽部被形成為：相比所述第K-1級電子倍增部的所述另一端側的邊 緣部，更向所述第K-1級電子倍增部的所述一端側擴展。

5.如權利要求1～3中的任一項所述的光電倍增管，其特征在于，

在所述基板的所述平面上，在所述凸部的端部還形成有連通鄰接的所述溝 槽部之間的另一溝槽部。