[發明專利]振動片和振子有效
| 申請號： | 201010115312.9 | 申請日： | 2010-02-11 |
| 公開（公告）號： | CN101807897A | 公開（公告）日： | 2010-08-18 |
| 發明（設計）人： | 石井昌宏;舟川剛夫 | 申請（專利權）人： | 愛普生拓優科夢株式會社;精工愛普生株式會社 |
| 主分類號： | H03H9/205 | 分類號： | H03H9/205 |
| 代理公司： | 北京三友知識產權代理有限公司 11127 | 代理人： | 黃綸偉 |
| 地址： | 日本東京*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 振動 | ||
1.一種振動片，該振動片具有3個以上的振動臂以及連接所述振動 臂的基部，所述振動臂在厚度方向上振動，且相鄰的所述振動臂朝彼此 相反的方向振動，該振動片的特征在于，具有：
下部電極，其設置在所述振動臂的在厚度方向上相對的第1面和第 2面中的所述第1面上；
壓電膜，其形成在所述下部電極的所述厚度方向上的上方；
上部電極，其形成在所述下部電極和所述壓電膜的所述厚度方向上 的上方；以及
配線，其與所述下部電極和所述上部電極連接，
與所述上部電極連接的配線以圍住所述振動臂的方式，經由所述振 動臂的側面而被引出至所述振動臂的所述第2面。
2.根據權利要求1所述的振動片，其特征在于，
在所述基部的端部形成有與所述配線連接的安裝電極。
3.根據權利要求2所述的振動片，其特征在于，
所述基部的厚度形成得比所述振動臂的厚度厚，將所述振動臂與所 述基部連接起來的所述基部的一部分形成為，其厚度從所述振動臂朝向 所述基部連續地變厚。
4.一種振動片，該振動片具有3個以上的振動臂以及連接所述振動 臂的基部，所述振動臂在厚度方向上振動，且相鄰的所述振動臂朝彼此 相反的方向振動，該振動片的特征在于，具有：
下部電極，其設置在所述振動臂的在厚度方向上相對的第1面和第 2面中的所述第1面上；
壓電膜，其形成在所述下部電極的所述厚度方向上的上方；
上部電極，其形成在所述下部電極和所述壓電膜的所述厚度方向上 的上方；以及
配線，其與所述下部電極和所述上部電極連接，
與所述下部電極連接的配線以圍住所述振動臂的方式，經由所述振 動臂的側面而被引出至所述振動臂的所述第2面。
5.根據權利要求4所述的振動片，其特征在于，
在所述基部的端部形成有與所述配線連接的安裝電極。
6.根據權利要求5所述的振動片，其特征在于，
所述基部的厚度形成得比所述振動臂的厚度厚，將所述振動臂與所 述基部連接起來的所述基部的一部分形成為，其厚度從所述振動臂朝向 所述基部連續地變厚。
7.一種振子，其特征在于，
該振子具有權利要求1～6中的任一項所述的振動片以及收納所述 振動片的收容器，所述振動片被氣密地收容在所述收容器內。
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