[發明專利]振動片和振子

有效

• 申請號: 201010115312.9
• 申請日: 2010-02-11
• 公開（公告）號: CN101807897A
• 公開（公告）日: 2010-08-18
• 發明（設計）人: 石井昌宏;舟川剛夫
• 申請（專利權）人: 愛普生拓優科夢株式會社;精工愛普生株式會社
• 主分類號: H03H9/205
• 分類號: H03H9/205
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 黃綸偉

技術領域

本發明涉及具有振動臂的振動片和振子。

背景技術

在具有振動臂的振子中，公知有如下這樣的振動片：該振動片的振 動臂不像彎曲振動那樣在面內進行振動，而是在振動臂的厚度方向進行 振動。該振動片一般具有多個振動臂，且進行行走模式（walk?mode）振 動，即，相鄰的振動臂交替重復地進行相反方向的振動。

例如，在專利文獻1中公開了一種利用行走模式振動的角速度傳感 器。該角速度傳感器具有由硅等形成的3個臂（振動臂），在各個臂的一 面上按這樣的順序形成有臂驅動用的下層電極（下部電極）、壓電薄膜（壓 電膜）以及上層電極（上部電極）。由這些下層電極、壓電薄膜以及上層 電極形成壓電元件，能夠利用壓電薄膜的逆壓電效應來在振動片的厚度 方向上進行振動。而且，以使相鄰的臂朝相反方向進行振動的方式來設 定各電極的極性。

【專利文獻1】日本特開2008-224627號公報

在這樣的振動片中，在一個面上配置有與下層電極和上層電極連接 的配線，各個配線以避免相互交叉的方式進行配置。因此，配線的配置 復雜，而且需要較大的面積。

并且，在專利文獻1那樣的結構中，特別是在要實現振動片的小型 化的情況下，振動片的面積減小，因而難以確保配線路徑，難以實現振 動片的小型化。

發明內容

本發明是為了解決上述課題的至少一部分而完成的，可以作為以下 方式或應用例來實現。

［應用例1］本應用例的振動片具有3個以上的振動臂以及連接所 述振動臂的基部，所述振動臂在厚度方向上振動，且相鄰的所述振動臂 朝彼此相反的方向振動，該振動片的特征在于，具有：下部電極，其設 置在所述振動臂的在厚度方向上相對的第1面和第2面中的所述第1面 上；壓電膜，其形成在所述下部電極的上方；上部電極，其形成在所述 下部電極和所述壓電膜的上方；以及配線，其與所述下部電極和所述上 部電極連接，與所述上部電極連接的配線以圍住所述振動臂的方式，經 由所述振動臂的側面而被引出至所述振動臂的所述第2面。

根據該結構，與上部電極連接的配線以圍住振動臂的方式，從振動 臂的第1面經由振動臂的側面而被引出至振動臂的第2面。

這樣，通過從振動臂的第1面向作為其背面的第2面引出配線，能 夠容易地將配線引出至背面。而且，由于能夠將振動片的正面和背面均 用于配線的配置，因而擴大了能夠配置配線的面積，增加了配線的配置 自由度。并且，即使在有限的空間中也能夠實現配線的配置，能夠實現 振動片的小型化。

［應用例2］在上述應用例的振動片中，優選的是，在所述基部的 端部形成有與所述配線連接的安裝電極。

根據該結構，在振動片的基部的端部形成有與配線連接的安裝電極， 能夠經由該安裝電極實現與上部電極和下部電極的電導通。另外，通過 使用導電粘結劑等將振動片固定在安裝電極部分上，能夠用懸臂結構來 保持振動片，能夠良好地實現振動片的特性。

［應用例3］在上述應用例的振動片中，優選的是，所述基部的厚 度形成得比所述振動臂的厚度厚，將所述振動臂與所述基部連接起來的 所述基部的一部分形成為，其厚度從所述振動臂朝向所述基部連續地變 厚。

根據該結構，在基部的厚度形成得比振動臂的厚度厚的振動片中， 基部的一部分形成為，其厚度從振動臂朝向基部的端部連續地變厚。基 部的與振動臂之間的連接部分形成為斜面狀，從振動臂引出至基部的配 線經過該斜面而與安裝電極等連接。

對于那種在不形成斜面部的情況下將振動臂與基部連接的情況而 言，會在振動臂與基部的邊界處產生臺階。而在本應用例中，由于在連 接部分具有斜面部，因而與在臺階處配線發生交叉的情況相比，不會出 現配線交叉成銳角的棱角的情況，能夠防止該部分處的配線的斷線。并 且，由于在振動臂與基部的連接部分不存在臺階，因此，在使用光刻技 術來形成配線的情況下，能夠可靠地進行抗蝕劑的曝光，能夠在不發生 配線斷線的情況下容易地形成配線。