[發明專利]掩模附著單元和使用該掩模附著單元的沉積設備

無效

• 申請號: 201010114815.4
• 申請日: 2010-02-10
• 公開（公告）號: CN101812662A
• 公開（公告）日: 2010-08-25
• 發明（設計）人: 成棟永;金在中
• 申請（專利權）人: 三星移動顯示器株式會社
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C16/04
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 韓明星;薛義丹

1.一種用于沉積設備的掩模附著單元，包括：

磁性組件；

蓋板，與所述磁性組件隔開；

磁性控制單元，至少部分地在所述磁性組件的邊緣和所述蓋板的邊緣之間。

2.如權利要求1所述的掩模附著單元，其中，所述磁性控制單元包含磁屏蔽材料或鐵素體磁性材料。

3.如權利要求2所述的掩模附著單元，其中，所述磁性控制單元包含鐵素體磁性材料，所述磁性控制單元是由鋼形成的薄膜片。

4.如權利要求1所述的掩模附著單元，其中，所述磁性控制單元與所述磁性組件的兩個表面疊置。

5.如權利要求1所述的掩模附著單元，其中，磁性控制單元的一部分在所述磁性組件和所述蓋板之間。

6.如權利要求1所述的掩模附著單元，其中，所述蓋板具有多個冷卻劑通道。

7.如權利要求1所述的掩模附著單元，其中，所述磁性組件包括磁板和涂覆到所述磁板的面向所述蓋板的表面的磁性材料。

8.如權利要求7所述的掩模附著單元，其中，所述磁性控制單元與所述磁性材料的兩個表面疊置，所述磁性控制單元覆蓋所述磁性材料的側表面。

9.如權利要求7所述的掩模附著單元，其中，所述磁性組件的所述磁性材料是金屬基材料。

10.一種沉積設備，包括室、在所述室中的沉積源、在所述沉積源上方的掩模組件和在所述掩模組件上方的掩模附著單元，其中，所述掩模附著單元包括：

磁性組件；

蓋板，與所述磁性組件隔開；

磁性控制單元，至少部分地在所述磁性組件的邊緣和所述蓋板的邊緣之間。

11.如權利要求10所述的沉積設備，其中，所述磁性控制單元包含磁屏蔽材料或鐵素體磁性材料。

12.如權利要求11所述的沉積設備，其中，所述磁性控制單元包含鐵素體磁性材料，所述磁性控制單元是由鋼形成的薄膜片。

13.如權利要求10所述的沉積設備，其中，所述蓋板具有多個冷卻劑通道。

14.如權利要求10所述的沉積設備，其中，所述磁性組件包括磁板和涂覆到所述磁板的面向所述蓋板的表面的磁性材料。

15.如權利要求14所述的沉積設備，其中，所述磁性組件的所述磁性材料是金屬基材料。

16.如權利要求10所述的沉積設備，其中，所述掩模組件包括具有多個開口的掩模框和至少一個圖案掩模，所述至少一個圖案掩模延伸成固定至所述掩模框。

17.如權利要求16所述的沉積設備，其中，所述圖案掩模是精細金屬掩模。

18.如權利要求16所述的沉積設備，其中，所述掩模框由金屬材料形成。

19.如權利要求10所述的沉積設備，所述沉積設備還包括用于將所述掩模組件結合到所述室的掩模支撐件。

20.如權利要求19所述的沉積設備，其中，所述掩模支撐件具有多個冷卻劑通道。