[發(fā)明專利]制膜系統(tǒng)及制膜方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201010113942.2
• 申請日: 2010-02-09
• 公開（公告）號: CN102148304A
• 公開（公告）日: 2011-08-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 葉政果
• 申請（專利權(quán)）人: 和椿科技股份有限公司
• 主分類號: H01L33/22
• 分類號: H01L33/22;H01L31/0236;H01L31/18
• 代理公司: 北京戈程知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11314
• 代理人: 程偉;王錦陽

1.一種制膜系統(tǒng)，其特征在于，包括：

容器，容納有液體；

排水手段，用以排除該液體；

環(huán)型件，以上下移動自如方式設(shè)于該容器內(nèi)，并浮于該液體上；

承載件，設(shè)于該容器內(nèi)的液體中，且該承載件用以承載至少一基板；以及

成膜材料，注入于該容器內(nèi)的液體表面，以形成膜狀物，且令該膜狀物的邊緣接觸該環(huán)型件的內(nèi)徑緣。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制膜系統(tǒng)，其特征在于，該容器為圓形、六角形或多邊形。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制膜系統(tǒng)，其特征在于，該環(huán)型件為片狀。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制膜系統(tǒng)，其特征在于，該環(huán)型件的外徑側(cè)對應(yīng)該容器的內(nèi)壁。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述的制膜系統(tǒng)，其特征在于，形成該承載件的材料為親水性材料。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制膜系統(tǒng)，其特征在于，該基板為晶圓。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制膜系統(tǒng)，其特征在于，該成膜材料包含納米球與醇類水溶液。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制膜系統(tǒng)，其特征在于，還包括輸送裝置，用以容納成膜材料，以將該成膜材料輸送至該容器內(nèi)，令該成膜材料形成該膜狀物。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制膜系統(tǒng)，其特征在于，該輸送裝置具有注射單元，以將該成膜材料注入該容器中。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制膜系統(tǒng)，其特征在于，該排水手段包括有貫穿該容器的排水孔、開閉該排水孔的孔塞。

11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制膜系統(tǒng)，其特征在于，該排水手段包括有貫穿該容器的排水孔、連接該排水孔導(dǎo)引流向的排水管、及控制流量的止水閥。

12.根據(jù)權(quán)利要求10或11所述的制膜系統(tǒng)，其特征在于，該排水手段還包括蒸發(fā)器。

13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制膜系統(tǒng)，其特征在于，該排水手段包括進(jìn)入該容器中的管體。

14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制膜系統(tǒng)，其特征在于，還包括分離結(jié)構(gòu)，用以分離該承載件與該容器。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的制膜系統(tǒng)，其特征在于，該分離結(jié)構(gòu)具有設(shè)于該承載件上的夾持部，供機(jī)械手臂夾持該承載件以分離該承載件與該容器。

16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的制膜系統(tǒng)，其特征在于，該容器與該承載件之間具有空隙，以利于該機(jī)器手臂夾持該承載件。

17.一種制膜方法，是以權(quán)利要求1所述的制膜系統(tǒng)制膜的方法，其特征在于，包括：

將液體注入該容器，以令該環(huán)型件浮于該液體上，而該承載件位于該液體中；

在該液體面上注入成膜材料，而在該液體上面的環(huán)型件內(nèi)形成膜狀物，且該膜狀物的邊緣接觸該環(huán)型件的內(nèi)徑緣；以及

移除該液體，以令該膜狀物配合該環(huán)型件下移而形成于該承載件及設(shè)于該承載件上的該基板上。

18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的制膜方法，其特征在于，該容器為圓形、六角形或多邊形。

19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的制膜方法，其特征在于，該環(huán)型件為片狀。

20.根據(jù)權(quán)利要求17所述的制膜方法，其特征在于，該環(huán)型件的外徑側(cè)對應(yīng)該容器的內(nèi)壁。

21.根據(jù)權(quán)利要求17所述的制膜方法，其特征在于，形成該承載件的材料為親水性材料。

22.根據(jù)權(quán)利要求17所述的制膜方法，其特征在于，該基板為晶圓。

23.根據(jù)權(quán)利要求17所述的制膜方法，其特征在于，該液體為水。

24.根據(jù)權(quán)利要求17所述的制膜方法，其特征在于，該膜狀物是以沉積方式形成于該基板上。

25.根據(jù)權(quán)利要求17所述的制膜方法，其特征在于，該成膜材料包含納米球與醇類水溶液。

26.根據(jù)權(quán)利要求25所述的制膜方法，其特征在于，還包括通過輸送裝置將該成膜材料輸送至該容器內(nèi)。

27.根據(jù)權(quán)利要求26所述的制膜方法，其特征在于，該輸送裝置具有注射單元，以將該成膜材料注入該容器中。

28.根據(jù)權(quán)利要求17所述的制膜方法，其特征在于，還包括在移除該液體后，以蒸發(fā)器干燥該膜狀物。