[發明專利]吸頭與應用此吸頭的輸送機臺有效

申請號：	201010109447.4	申請日：	2010-02-03
公開（公告）號：	CN102142390A	公開（公告）日：	2011-08-03
發明（設計）人：	謝榮林;陳尚智;鐘宏宗	申請（專利權）人：	日月光半導體制造股份有限公司
主分類號：	H01L21/683	分類號：	H01L21/683;H01L21/677
代理公司：	北京市柳沈律師事務所 11105	代理人：	陳小雯
地址：	中國臺***	國省代碼：	中國臺灣;71
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摘要：
搜索關鍵詞：	吸頭應用輸送機臺
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【說明書】：

技術領域

本發明涉及一種吸頭及應用此吸頭的輸送機臺，且特別是涉及一種適用于封裝制作工藝的吸頭及輸送機臺。

背景技術

現有半導體封裝制作工藝大多通過自動化的輸送機臺來進行晶片以及封裝后的成品與半成品在各制作工藝站臺之間的傳輸。觀諸現有的輸送機臺在取放物料的傳輸過程中，皆需通過人工對機臺的吸頭進行位置的調校。

然而，以人工方式進行位置調校容易因為人為因素而產生判斷的誤差，從而導致輸送機臺無法順利取放物料，或是輸送機臺上的吸頭或機械手臂等零件與外界碰撞而毀損。另一方面，以人工方式進行位置調校不僅浪費工時，也將耗費大量的生產成本，使得生產效率低落。

發明內容

本發明的目的在于提供一種可以緩沖位置誤差的吸頭以及應用此吸頭的輸送機臺，以提高輸送效率并維持機臺在輸送過程中的正常運作。

為具體描述本發明的內容，在此提出一種吸頭，包括一第一傳動部、一第二傳動部以及一吸嘴。第二傳動部磁吸于第一傳動部，以容許第二傳動部相對于第一傳動部位移。此外，吸嘴配置于第二傳動部，并且經由第二傳動部來被第一傳動部帶動。

本發明更提出一種輸送機臺，包括一承載盤、一傳動裝置以及前述的吸頭。承載盤用以承載一被輸送物，而吸頭由傳動裝置驅動，以吸取該被輸送物。

在一實施例中，所述吸頭更包括一隔板，其配置于第一傳動部與第二傳動部之間的吸附接面上。

在一實施例中，第一傳動部包括一第一傳動桿以及一第一磁性件，其中第一磁性件配置于第一傳動桿的一端并且吸附第二傳動部。

在一實施例中，第二傳動部包括一第二傳動桿以及一第二磁性件，其中第二磁性件配置于第二傳動桿的一端并且吸附第一傳動部。

在一實施例中，前述第二傳動部更包括連通該吸嘴的一接頭，而所述接頭可連接至例如一真空泵，以使該吸嘴產生真空吸力。

在一實施例中，所述吸頭更包括一導引件，其具有與承載盤相配合的外形。

在一實施例中，前述導引件具有一外斜面。此外斜面與承載盤的一凹槽相配合，且該凹槽用以容置被輸送物。

在一實施例中，前述導引件具有環繞吸嘴的一內斜面，用以承靠被吸嘴吸取的被輸送物。

在一實施例中，前述導引件具有至少一穿孔，且穿孔的外形與承載盤上的一導銷相配合。

在一實施例中，前述吸嘴為伸縮吸嘴。

另一方面，本發明更提出一種吸頭，包括一第一傳動桿、一第一磁性件、一第二傳動桿、一第二磁性件、一水平隔板、一伸縮吸嘴、一接頭以及一導引件。第一傳動桿具有一第一垂直長軸，而第一磁性件配置于第一傳動桿的一端。第二傳動桿具有一第二垂直長軸，而第二磁性件配置于第二傳動桿的一端。水平隔板配置于第一磁性件與第二磁性件之間，其中第一磁性件與第二磁性件隔著隔板相互吸附，而容許第一磁性件與第二磁性件之間相對位移。伸縮吸嘴配置于第二傳動桿的另一端，并且經由第二傳動桿來被第一傳動桿帶動。接頭配置于第二傳動桿上，并連通吸嘴。導引件具有與一承載盤相配合的外形，而所述承載盤用以承載一被輸送物。

基于上述，本發明的吸頭包括以磁力相互吸附的第一傳動部以及第二傳動部，其中第一傳動部以及第二傳動部之間可相對位移，以緩沖吸頭在制作工藝中可能產生的位置誤差，并可避免吸頭與外界碰撞后的結構毀損。此外，搭配設置于第二傳動部上的導引件，本發明更可以在制作工藝中通過導引件對吸頭的位置誤差進行自我調整，以準確地吸取或放置被輸送物，且不須浪費額外工時來調整吸頭的位置。另外，第一傳動部以及第二傳動部之間的吸附接面上還可設置隔板，以促進第一傳動部以及第二傳動部的相對位移。通過本發明提出的吸頭以及輸送機臺，可以提高輸送效率并維持輸送機臺在制作工藝中的正常運作。

為讓本發明的上述特征和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例，并配合所附附圖作詳細說明如下。

附圖說明

圖1為本發明的一實施例的一種輸送機臺；

圖2為本發明的另一實施例的一種輸送機臺；

圖3A至圖3D依序繪示通過圖1的輸送機臺100來放置被輸送物140至承載盤110的過程。

主要元件符號說明

100：輸送機臺

110：承載盤

112：凹槽

112a：凹槽的內壁

120：傳動裝置

130：吸頭