[發(fā)明專利]吸頭與應(yīng)用此吸頭的輸送機(jī)臺(tái)有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201010109447.4 | 申請(qǐng)日: | 2010-02-03 |
| 公開(公告)號(hào): | CN102142390A | 公開(公告)日: | 2011-08-03 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 謝榮林;陳尚智;鐘宏宗 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 日月光半導(dǎo)體制造股份有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/683 | 分類號(hào): | H01L21/683;H01L21/677 |
| 代理公司: | 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105 | 代理人: | 陳小雯 |
| 地址: | 中國(guó)臺(tái)*** | 國(guó)省代碼: | 中國(guó)臺(tái)灣;71 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 吸頭 應(yīng)用 輸送 機(jī)臺(tái) | ||
1.一種吸頭,包括:
第一傳動(dòng)部;
第二傳動(dòng)部,磁吸于該第一傳動(dòng)部,并容許該第二傳動(dòng)部相對(duì)于該第一傳動(dòng)部位移;以及
吸嘴,配置于該第二傳動(dòng)部,并且經(jīng)由該第二傳動(dòng)部來被該第一傳動(dòng)部帶動(dòng)。
2.如權(quán)利要求1所述的吸頭,還包括一隔板,配置于該第一傳動(dòng)部與該第二傳動(dòng)部之間的吸附接面上。
3.如權(quán)利要求1所述的吸頭,其中該第一傳動(dòng)部包括:
第一傳動(dòng)桿;以及
第一磁性件,配置于該第一傳動(dòng)桿的一端并且吸附該第二傳動(dòng)部。
4.如權(quán)利要求1所述的吸頭,其中該第二傳動(dòng)部包括:
第二傳動(dòng)桿;以及
第二磁性件,配置于該第二傳動(dòng)桿的一端并且吸附該第一傳動(dòng)部。
5.如權(quán)利要求4所述的吸頭,其中該第二傳動(dòng)部還包括接頭,該接頭連通該吸嘴。
6.如權(quán)利要求1所述的吸頭,還包括導(dǎo)引件,其具有與一承載盤相配合的外形,該承載盤用以承載一被輸送物。
7.如權(quán)利要求6所述的吸頭,其中該導(dǎo)引件具有一外斜面,該外斜面與該承載盤的一凹槽相配合,且該凹槽用以容置該被輸送物。
8.如權(quán)利要求6所述的吸頭,其中該導(dǎo)引件具有環(huán)繞該吸嘴的一內(nèi)斜面,用以承靠被該吸嘴吸取的該被輸送物。
9.如權(quán)利要求6所述的吸頭,其中該導(dǎo)引件具有至少一穿孔,該穿孔的外形與該承載盤上的一導(dǎo)銷相配合。
10.如權(quán)利要求1所述的吸頭,其中該吸嘴為伸縮吸嘴。
11.一種輸送機(jī)臺(tái),包括:
承載盤,用以承載一被輸送物;
傳動(dòng)裝置;
吸頭,由該傳動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng),該吸頭包括:
第一傳動(dòng)部,連接該傳動(dòng)裝置;
第二傳動(dòng)部,磁吸于該第一傳動(dòng)部,并容許該第二傳動(dòng)部相對(duì)于該第一傳動(dòng)部位移;以及
吸嘴,配置于該第二傳動(dòng)部,并且經(jīng)由該第二傳動(dòng)部來被該第一傳動(dòng)部帶動(dòng)。
12.如權(quán)利要求11所述的輸送機(jī)臺(tái),其中該吸頭還包括隔板,配置于該第一傳動(dòng)部與該第二傳動(dòng)部之間的吸附接面上。
13.如權(quán)利要求11所述的輸送機(jī)臺(tái),其中該吸頭還包括導(dǎo)引件,其具有與該承載盤相配合的外形。
14.如權(quán)利要求13所述的輸送機(jī)臺(tái),其中該導(dǎo)引件具有一外斜面,該外斜面與該承載盤的一凹槽相配合,且該凹槽用以容置該被輸送物。
15.如權(quán)利要求13所述的輸送機(jī)臺(tái),其中該導(dǎo)引件具有至少一穿孔,該穿孔的外形與該承載盤上的一導(dǎo)銷相配合。
16.一種吸頭,包括:
第一傳動(dòng)桿,具有第一垂直長(zhǎng)軸;
第一磁性件,配置于該第一傳動(dòng)桿的一端;
第二傳動(dòng)桿,具有第二垂直長(zhǎng)軸;
第二磁性件,配置于該第二傳動(dòng)桿的一端;
水平隔板,配置于該第一磁性件與該第二磁性件之間,其中該第一磁性件與該第二磁性件隔著該隔板相互吸附,而容許該第一磁性件與該第二磁性件之間相對(duì)位移;
伸縮吸嘴,配置于該第二傳動(dòng)桿的另一端,并且經(jīng)由該第二傳動(dòng)桿來被該第一傳動(dòng)桿帶動(dòng);
接頭,配置于該第二傳動(dòng)桿上,并連通該吸嘴;以及
導(dǎo)引件,具有與一承載盤相配合的外形,該承載盤用以承載一被輸送物。
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H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
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